•半导体分析光谱仪CryoSAS

CryoSAS是布鲁克光谱公司生产的专门用于硅材料分析的一体化的低温检测系统。            
CryoSAS*地将高性能的布鲁克FT-IR光谱技术与现代化与方便实用的低温闭循环致冷系统结合在一起，摆脱了通常进行高灵敏度检测时对液氦的依赖。CryoSAS的全部组件都采用了先进的一体化和人性化的结构设计理念，使得这样的系统能够适应硅材料生产中的不同使用环境。

CryoSAS系统的主要指标为： 
光谱范围：1500-280cm-1
半导体分析可安装九个样品的样品架,样品的尺寸：zui多可一次安放九个样品，样品的尺寸为：直径或边长为10mm的圆形或方形样品，厚度为2.5~5mm
光谱分辩率：0.5cm-1
优化设计的光谱仪能够同时检测 III、V族掺杂元素(如硼、磷等浅杂质态)在单晶硅中的硅中取代碳,间隙氧含量的测定等。