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日本SMC带快换接头的真空过滤器
SMC ZFC系列真空过滤器是小型直通式（进出口在条线上）快换接头连接，不需工具便可更换滤芯。当过滤器两端压降大于0.02MPa时，滤芯应拆下清洗或更换。.
真空过滤器是将从大气中吸入的污染物（主要是尘埃）收集起来，以防止真空系统中的元件受污染而出现故障。故吸盘与真空发生器（或真空阀）之间，应设置真空过滤器。真空发生器的排气口、真空阀的吸气（或排气口）和真空泵的排气口也都应装上消音器，这不仅降低噪声而且能起过滤作用，以提高真空系统工作的可靠性。
对真空过滤器的要求是，滤芯污染程度的确认简单，清扫污染物容易，结构紧凑，不致使真空到达时间增长。.

日本SMC带快换接头的真空过滤器
SMC真空过滤器的种类
在安装SMC真空过滤器时，注意进出口不得装反。配管处不得有泄露。维修时，密封件不得损伤。过滤SMC真空器进口压力不要超过0.5MPa，这点可通过调节减压阀和节流阀来保证。真空过滤器的流速不大，空气中的水分不会凝结，故改过滤器无需分水功能，不要用AF系列过滤器取代ZF系列过滤器，避免变差。.
SMC真空过滤器有三个系列：ZFA、ZFB、ZFC。这三种系列的真空过滤器结构原理图分别如下。
SMC真空过滤器的作用
SMC ZFA系列真空过滤器是箱式结构，便于集成化。滤芯呈叠褶形状，故过滤面积大，可通过流量大，使用周期长。
SMC ZFB系列真空过滤器是管式连接。由于使用了万向接头，配管可在360°范围内自由安装。使用快换接头，装卸配管迅速。
SMC真空过滤器型号列表
ZFA100-01 ZFB100-04 ZFB300-10 ZFC100-06X17
ZFA100-01L ZFB100-06 ZFB301-11 ZFC101-03B
ZFA200-02 ZFB101-07 ZFB401-13 ZFC101-07B
ZFA200-02L ZFB200-06 ZFC100-04B ZFC200-06B
ZFA200-02R ZFB200-08 ZFC100-04BX9 ZFC200-06X17
ZFA200-F02 ZFB201-07 ZFC100-04X17 ZFC200-08
ZFA200-T02R ZFB300-08 ZFC100-06B ZFC200-08B