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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 电动 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5万-10万 | 应用领域 | 地矿,电子,航天,汽车,电气 |
| 定位精度 | 10nm |
电控三维位移台3D/4D-stage是专业为激光光学安装固定设计的电控XYZ位移台,并且可在三轴位移台基础上加上旋转台组成四轴位移台功能。
电控三维位移台采用三个电控直线线性位移台组成,可以增选一个电控旋转台用于θ轴旋转。三维位移台组成XYZ维的位移,可提供行程距离有25mm、100mm或200mm,每个轴可以独立选择。
图1：电控三维位移台实物图3D-stage
三个XYZ三维线性位移台采用闭环直流伺服电机,交叉滚筒轴承,高精度丝杆和高分辨率定位反馈编码器控制,从而保证了位移台平滑和精确的运动。与其它工作台一样，这些电控三维位移台可以极慢的速度均匀移动，电控三维位移台提供各种速度/精度选项,也可订制3D/4D位移台系统,通常通过一个适配板把各个位移台组装在一起。
电控三维位移台可以使用各种各样的控制器，这些控制器和工作台可以相互兼容,推荐使用自由的MS2000位移控制器，可自动纠偏，并可通过RS-232或USB连接与上机位进行通讯。
电控三维位移台参数
| 技术参数 | 尺寸 |
| 编码器分辨率* | 5.5 nm |
| 线性编码器 | 10 nm |
| RMS重复精度（典型） | < 0.7 μm |
| 采用线性编码器重复精度（典型） | 200 nm |
| 丝杆精度 | 0.25 μm/mm |
| 采用线性编码器后的丝杠精度 | ± 3 μm/length scale |
| 最大速度* | 1.75 mm/sec |
| 行程范围 | 25~100mm |
*注：采用1.59 mm螺距的丝杠（16TPL）
电控三维位移台丝杠附件
| 丝杆螺距选择 | 旋转编码器分辨率 | 最大速度 |
| 25.40 mm (极粗) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (超粗) | 44 nm | 14mm/sec |
| 6.35 mm (标准) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (细) | 5.5 nm | 1.75mm/sec |
| 0.635 mm (极细) | 2.2 nm | 0.7mm/sec |
注：采用旋转编码器和6.35毫米螺距丝杆
图2：电动四维位移台4D-stage俯视图（由XYZ三维位移台+旋转台构成）
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