HORIBA科学仪器事业部
拉曼+半导体4H-SiC+不同层载流子浓度
检测样品：半导体4H-SiC检测项目：半导体不同层载流子浓度
方案概述：利用共聚焦拉曼进行分析时，不同的激发光可以检测不同浓度的载流子信息，比如325nm激光辐照可以检测低浓度载流子信息；2、同样是在325nm激光辐照下，样品内产生的光生载流子浓度会随着离子改性层中铝离子注入剂量的增加而减弱；3、这些都表明了共聚焦拉曼在载流子浓度表征方面的便利与优势。
在对一系列具有不同载流子浓度的EPI层和基底层构成的4H-SiC样品进行对比分析后，团队人员发现，随着探针由样品内部基底层上移至样品表面EPI层，对应的LOPC峰位出现一种趋势：先平稳不动，随后逐渐往低波数方向移动（蓝移）（如下图7所示）。我们从上述研究已经知道LOPC峰是对载流子浓度很敏感的峰，这一蓝移现象意味着：从基底层到外延层，载流子存在浓度梯度。再通过对拉曼结果的计算分析，团队人员就获得了不同层对应的载流子浓度梯度。
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