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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>其它半导体行业仪器设备>分子束外延(MBE)>MBE 分子束外延系统

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MBE 分子束外延系统

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 巨力科技有限公司
  • 品牌
  • 型号 MBE
  • 产地 进口
  • 厂商性质 经销商
  • 更新时间 2017/12/17 17:02:38
  • 访问次数 1358

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


巨力科技有限公司专门经销欧美、日本等国家制造的*科学仪器,为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。目前产品涵盖材料科学、微纳米技术、表面测量及表征、半导体、光伏和生命科学等领域。

 

可控环境型微纳米力学测试系统,超纳米压痕仪,纳米压痕仪,动态超显微硬度计,超显微硬度计,纳米硬度计,纳米划痕仪,显微划痕仪,大载荷划痕仪,纳米摩擦仪,摩擦仪,摩擦试验机,高温摩擦试验机,真空摩擦试验机,膜厚仪,球磨仪,高精度台阶仪,三维微纳米轮廓仪,原子力显微镜,薄膜应力测量仪,全息显微镜,激光测振仪,激光干涉仪,激光测速仪,光谱型椭偏仪,扫描霍尔探针显微镜,精密d33测试仪,薄膜d33测试仪,高温介电测量系统,表面等离子体共振仪,激光拉曼显微镜PCT测试仪,碳纳米制备系统,原子层沉积系统,电子束蒸发系统热蒸发系统超高真空蒸发系统磁控溅射系统分子束外延系统 MBE有机分子束沉积 OMBD等离子增强化学气相淀积系统 PECVD电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 ECR-PECVD低能离子减薄仪,离子减薄仪,抛光机,精密切片机,微热台

1.蒸镀源Cell&电源:
金属沉积蒸镀Cell 
    --zui大温度: < 1800℃ 
    --坩埚容量和材料: up to 200 ccAl2O3, BN, PBN, etc 
    --包括超高真空shutterCooling shroud
电源: 
    --直流电源:20A, 100V 
    --温度控制:PID control

2.等离子体Cell&电源:
射频等离子体Cell
    •坩埚材料:Alumina(Al2O3)
电源:300W射频发生器with matching box
质量流量控制器:N2 or O2

3.薄膜沉积控制:
•膜厚测量:石英晶体振荡器
•束流量:微离子规

4.RHHED枪&电源:
•配电功率: max. 30 kV at 1mA
•灯丝功率:max. 3A

5.真空室:
•圆柱形腔体
    •直径: OD 355 ~1,000 mm (Substrate : up to OD600mm)
    •高度: 700 ~1,000 mm 
真空泵系统及测量
    •低真空:干泵和Convectron真空规 
    •超高真空:两级涡轮分子泵,低温泵和离子规

6.系统控制:PLC, 触摸屏计算机控制

 

主要特点

 

扩展功能:
•温度控制器:基底加热
•LN2 or CW 冷却系统
•超高真空离子泵
•反射计:原位光学厚度测控
•带自动样品递送装置的Loadlock样品加载系统

 
仪器介绍  

 

专业的沉积设备制造商,为各个领域的客户提供完善的薄膜沉积解决方案:电子束蒸发系统、热蒸发系统、超高真空蒸发系统、分子束外延MBE、有机分子束沉积OMBD、等离子增强化学气相淀积系统PECVD/ICP Etcher、电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积、离子泵等;

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