HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 英格海德分析技术有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 HPR-80
- 产地 英国 HIDEN
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2023/11/22 10:13:43
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| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 100万-150万 |
|---|---|---|---|
| 检测限 | 5ppb | 应用领域 | 化工,电子,冶金,航天,电气 |
| 质量数范围 | 510amu | 最小检测分压 | 5E-14 mbar |
20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理学杂志发布了HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪，初期主要应用于半导体行业的特气检测，如毒性气体AsH3、B2H6、PH3等，强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF3等，强氧化性气体如CIF3、NF3等。
20年来，Hiden在这一细分领域具有强大的产品力，针对不同程度的腐蚀气体分析，提供不同的解决方案。
HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪非常适用于分析腐蚀性气体，HF，HCl，HBr和卤代烃气体工艺产生的反应产物。
主要特点：
1、连接件电抛光工艺处理
2、取样压力：1mTorr to 1000Torr
3、高灵敏度三级过滤四极杆
4、检测限可达 5 ppb
5、QGA专业版定量分析软件
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