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化工仪器网>产品展厅>物理特性分析仪器>测厚仪>白光干涉测厚仪>FR-pRo Thetametrisis膜厚测量仪

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FR-pRo Thetametrisis膜厚测量仪

具体成交价以合同协议为准

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联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


岱美有限公司(Dymek Company Ltd ,下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的高科技设备分销商,主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于香港,中国台湾,中国大陆,泰国,菲律宾,马来西亚及新加坡等地区。

岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:

晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。

岱美重要合作伙伴包括有:n&k Technology ; Veeco di, Wyko, Dektak, IBE, IBD, MTI; Imago; 4D; First Nano; GatanSagitta; AXIC; Tamarack; Thermo Noran; Magnetic Recording Solutions; Schmitt; EVG; Shb; SPTS; ADE; CETR; Contrade; DeWeyl; Filmetrics - Greater China; Global Optron; Herz; Innovative Instrumentation Incorporated; LESCO; Microphysics; OSC; Palomar; PPL JPS; Strasbaugh; Tru-Si; VIC; Westbond; Diamond Innovations; Innovative Organics;nPoint;Photonic Cleaning Technology

如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。



膜厚仪,轮廓仪,EVG键合机,EVG光刻机,HERZ隔震台,Microsense电容式位移传感器

产地类别 进口 价格区间 面议
应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,电子,综合

Thetametrisis膜厚测量仪FR-pRo概述:

FR-pRo膜厚仪: 按需搭建的薄膜特性表征工具。

FR-pRo膜厚仪是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备,用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层。

FR-pRo膜厚仪是为客户量身定制的,并广泛应用于各种不同的应用。

比如:

吸收率/透射率/反射率测量,薄膜特性在温度和环境控制下甚至在液体环境下的表征等等…

Thetametrisis膜厚测量仪FR-pRo应用:

1、大学&研究实验室

2、半导体行业

3、高分子聚合物&阻抗表征

4、电介质特性表征

5、生物医学

6、硬涂层,阳极氧化,金属零件加工

7、光学镀膜

8、非金属薄膜等等…

FR-pRo膜厚仪可由用户按需选择装配模块,核 心部件包括光源,光谱仪(适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统)和控制单元,电子通讯模块。

此外,还有各种各种配件,比如:

1.用于测量吸收率/透射率和化学浓度的薄膜/试管架;

2.用于表征涂层特性的薄膜厚度工具;

3.用于控制温度或液体环境下测量的加热装置或液体试剂盒;

4.漫反射和全反射积分球。

通过不同模块组合,蕞终的配置可以满足任何终端用户的需求。

Specificatins 规格:

Model

UV/Vis

UV/NIR -EXT

UV/NIR-HR

D UV/NIR

VIS/NIR

D Vis/NIR

NIR

光谱范围  (nm)

200 – 850

200 –1020

200-1100

200 – 1700

370 –1020

370 – 1700

900 – 1700

像素

3648

3648

3648

3648 & 512

3648

3648 & 512

512

厚度范围

1nm – 80um

3nm – 80um

1nm – 120um

1nm – 250um

12nm – 100um

12nm – 250um

50nm – 250um

测量n*k 蕞小范围

50nm

50nm

50nm

50nm

100nm

100nm

500nm

准确度*,**

1nm or 0.2%

1nm or 0.2%

1nm or 0.2%

1nm or 0.2%

1nm or 0.2%

2nm or 0.2%

3nm or 0.4%

精度*,**

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.1nm

稳定性*,**

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.15nm

光源

氘灯 & 钨卤素灯(内置)

钨卤素灯(内置)

光斑 (直径)

 

 

350um (更小光斑可根据要求选配)

 

 

材料数据库

 

 

 

> 600 种不同材料

 

 

 

Accessries 配件:

电脑

19 英寸屏幕的笔记本电脑/触摸屏电脑

聚焦模块

光学聚焦模块安装在反射探头上,光斑尺寸<100um

薄膜/比色皿容器

在标准器皿中对薄膜或液体的透射率测量

接触式探头

用于涂层厚度测量和光学测量的配件,适用于弯曲表面和曲面样品

显微镜

用于高横向分辨率的反射率及厚度显微测量

Scanner  (motorized)

带有圆晶卡盘的Polar(R-Θ)或 Cartesian(X-Y)自动化样品台可选,Polar(R-Θ)样品台支持反射率测量,Cartesian(X-Y)样品台支持反射率和透射率测量

积分球

用于表征涂层和表面的镜面反射和漫反射

手动 X-Y 样品台

测量面积为 100mmx100mm 或 200mmx200mm 的x - y 手动平台

加热模块

嵌入FR-tool 中,范围由室温~200oC,通过FR-Monitor 运行可编程温控器(0.1 oC 精度).

液体模块

聚四氟乙烯容器,用于通过石英光学窗口测量在液体中的样品。样品夹具,

用于将样品插入可处理 30mmx30mm 样品的液体中

流通池

液体中吸光率、微量荧光测量






工作原理:

白光反射光谱(WLRS)是测量垂直于样品表面的某一波段的入射光,在经多层或单层薄膜反射后,经界面干涉产生的反射光谱可确定单层或多层薄膜(透明,半透明或全反射衬底)的厚度及 N*K 光学常数。

* 规格如有更改,恕不另行通知; ** 厚度测量范围即代 表光谱范围,是基于在高反射衬底折射率为 1.5 的单层膜测量厚度。

 

 



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