kSA BandiT实时衬底温度测试仪
- 公司名称 巨力光电(北京)科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地 美国
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2023/9/7 17:46:10
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
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仪器种类 | 多通道 | 应用领域 | 医疗卫生,生物产业,农业,地矿,能源 |
kSA BandiT实时衬底温度测试仪是一种非接触、实时测量半导体衬底表面温度的测试系统,采用半导体材料吸收边随温度的变化,实时测量晶片/衬底的温度;并且kSA BandiT 已经成功地安装到众多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半导体沉积设备上,实现了晶片的温度实时检测。
kSA BandiT多晶片温度监控软件结合了自动伺服马达控制的扫描检测功能,从而实现了MBE外延薄膜生长过程中多衬底温度实时Mapping检测。
该系统在外延薄膜生长过程提供衬底/晶片实时的二维温度信息的系统。对Wafer(及薄膜)表面温度实时、非接触、非入侵的直接检测;采用温度和半导体材料对光的吸收边(谱带能量)相关性原理,即材料的本征特性,使得测量结果更为准确;可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上,进行实时温度检测。
kSA BandiT实时衬底温度测试仪
技术参数:
温度范围:室温~1300摄氏度;
温度重复性:0.2摄氏度;
温度分辨率:0.1摄氏度;
稳定性:+/-0.2摄氏度;
主要特点:
*实时、非接触、非入侵、直接Wafer温度监测;
*多基片/晶片表面2D温度Mapping监测;
*真实的Wafer表面或薄膜温度监测;
*整合了新的黑体辐射监测技术;
*沉积速率和薄膜厚度分析;
*表面粗糙度分析功能;
*测量波长范围可选(例如:可见光波段、近红外波段等)
*避免了发射率变化对测量的影响;
*无需沉积设备Viewport特殊涂层;