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化工仪器网>产品展厅>测量/计量仪器>温度计量仪器>温度记录仪/温度验证系统> kSA BandiT实时衬底温度测试仪

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kSA BandiT实时衬底温度测试仪

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       巨力光电(北京)有限公司立足于北京市副中心通州区,专门经销欧洲、美国、日本等国家制造的先进科学仪器设备,为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。公司骨干在该行业有超过10年的经验,专业的服务水平、完善的售后服务体系。

  目前主要产品涉及材料科学、微纳米技术、表面测量和光电器件、光伏产品、半导体器件的检测与研发等领域。

  公司本着以科技为导向、以客户为中心、以服务为宗旨,竭诚为新老客户提供优质的服务!

AAA级太阳光模拟器,IV测试单元,AAA 级双灯太阳光模拟器,太阳能电池载流子迁移率测试系统,太阳能电池&OLED建模与光电数据模拟分析系统,太阳能电池&OLED寿命测试系统,OLED光谱测量系统/角谱仪分析仪,高分子压电系数测试仪,薄膜应力测试系统,桌面原子层沉积系统,钙钛矿LED寿命测试仪,太阳能电池量子效率QE测量系统,石墨烯/碳纳米管制备技术,桌面型纳米压印机,狭缝式涂布机,SPD喷雾热解成膜系统,电滞回线及高压介电击穿强度测试系统,电容充放电测试仪,薄膜生长速率测试仪

产地类别 进口 价格区间 面议
仪器种类 多通道 应用领域 医疗卫生,生物产业,农业,地矿,能源

kSA BandiT实时衬底温度测试仪是一种非接触、实时测量半导体衬底表面温度的测试系统,采用半导体材料吸收边随温度的变化,实时测量晶片/衬底的温度;并且kSA BandiT 已经成功地安装到众多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半导体沉积设备上,实现了晶片的温度实时检测。 

kSA BandiT多晶片温度监控软件结合了自动伺服马达控制的扫描检测功能,从而实现了MBE外延薄膜生长过程中多衬底温度实时Mapping检测。 

该系统在外延薄膜生长过程提供衬底/晶片实时的二维温度信息的系统。对Wafer(及薄膜)表面温度实时、非接触、非入侵的直接检测;采用温度和半导体材料对光的吸收边(谱带能量)相关性原理,即材料的本征特性,使得测量结果更为准确;可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上,进行实时温度检测。

kSA BandiT实时衬底温度测试仪

技术参数:
  温度范围:室温~1300摄氏度;
  温度重复性:0.2摄氏度;
  温度分辨率:0.1摄氏度;
  稳定性:+/-0.2摄氏度;

主要特点:
     *实时、非接触、非入侵、直接Wafer温度监测;
     *多基片/晶片表面2D温度Mapping监测;
     *真实的Wafer表面或薄膜温度监测;
     *整合了新的黑体辐射监测技术;
     *沉积速率和薄膜厚度分析;
     *表面粗糙度分析功能;
     *测量波长范围可选(例如:可见光波段、近红外波段等)
     *避免了发射率变化对测量的影响;
     *无需沉积设备Viewport特殊涂层;



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