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桌面型原子层沉积系统

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       巨力光电(北京)有限公司立足于北京市副中心通州区,专门经销欧洲、美国、日本等国家制造的先进科学仪器设备,为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。公司骨干在该行业有超过10年的经验,专业的服务水平、完善的售后服务体系。

  目前主要产品涉及材料科学、微纳米技术、表面测量和光电器件、光伏产品、半导体器件的检测与研发等领域。

  公司本着以科技为导向、以客户为中心、以服务为宗旨,竭诚为新老客户提供优质的服务!

AAA级太阳光模拟器,IV测试单元,AAA 级双灯太阳光模拟器,太阳能电池载流子迁移率测试系统,太阳能电池&OLED建模与光电数据模拟分析系统,太阳能电池&OLED寿命测试系统,OLED光谱测量系统/角谱仪分析仪,高分子压电系数测试仪,薄膜应力测试系统,桌面原子层沉积系统,钙钛矿LED寿命测试仪,太阳能电池量子效率QE测量系统,石墨烯/碳纳米管制备技术,桌面型纳米压印机,狭缝式涂布机,SPD喷雾热解成膜系统,电滞回线及高压介电击穿强度测试系统,电容充放电测试仪,薄膜生长速率测试仪

产地类别 进口 价格区间 面议
应用领域 环保,化工,生物产业,能源,电子

桌面型原子层沉积系统采用全新的设计理念、便捷的控制系统和丰富的成膜,为广大科研工作者提供了更为有效的成膜设备。

详细说明:

桌面型原子层沉积系统哈佛大学纳米科学中心薄膜沉积工艺研究科学家Dr. Philippe de Rouffignac设计,基于多年纳米薄膜制备的丰富经验以及对科研工作者切实研究需要的了解,推出了此桌面型、高性能的原子层沉积系统。*设备自2015年在CNS安装以来,到目前为止已有超过1500人次使用,人性化的设计、便捷的操作和优质的成膜工艺,赢得了众多科研工作者的赞誉。

主要特点:
1.腔室专为R&D设计和优化,样品尺寸达直径4’’,可升级至6'';
2.反应腔温度可控范围:RT-350℃;
3.前驱体源温度可控范围:RT-150℃;
4.腔室处理压力可控范围:0.1-1.5 torr;
5.源扩展多达5个;
6.快速循环处理功能;
7.气路优化设计、腔体小型化设计;
8.一分钟多达6-10;
9.成熟的薄膜Recipes内置程序;
10.触屏PLC控制;
11.可配套手套箱使用;
12.可配备臭氧发生器;

13.可定制样品夹具;

14.相比于市场上同类产品体积相对偏小,可以放置在净化间;

15.可实现前驱体剂量的控制。

 

可处理材料:

 

 

 

 



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