Bruker Dektak XT Bruker 探针式表面轮廓仪(台阶仪)
- 公司名称 北京亚科晨旭科技有限公司
- 品牌
- 型号 Bruker Dektak XT
- 产地 东南亚
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2020/9/4 15:48:24
- 访问次数 1694
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 20万-30万 |
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应用领域 | 化工,能源,电子 |
Bruker 探针式表面轮廓仪(台阶仪)DektakXT
(一)、概述
布鲁克DektakXT (探针式表面轮廓仪)设计创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性<5Å。这一里程碑式的产品源自于Dektak系列占据业界ling xian地位长达四十年的优异表面测量技术。实现了纳米尺度的表面轮廓测量,在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。
台阶高度重复性优于5埃(<5 Å)
· 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
· 先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新*
操作简便,高效易用
· 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
· *的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
· 自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针
探针式轮廓仪的ling 导 zhe
· 性能zhuo yue,物超所值
· 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障
(二)、历史:技术创新四十余年
过去四十年间,世界范围内有上万台Dektak系列产品应用于各个领域,广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。它们以优质、可靠、高效等特性广受赞誉。
(三)、性能:设计完美、性能*
台阶仪性能优劣取决于以下三个方面:测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和 优化的测量以及数据处理软件来实现可靠、快速和简单的样品检测,达到 佳的仪器使用效果。
简便易行的操作系统
- 新颖的探针和部件自动对准装置,避免了探针损伤。提高操作的简便性。
- 提供各种标准探针和特制探针。
完善的数据采集和分析系统
- Vision64 软件提供了实用简洁的用户界面,可视化使用流程,及各种参数自助设定等。
- 各种数据分析功能的操作简便、快捷,使用者可以快速高效地进行分析。
具备先进的3D形貌图像扫描和分析模式
(四)、应用
布鲁克探针式表面轮廓仪历经四十载,从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面极广,为用户提供准确性高,重复性佳的测量结果。在教育、科研领域和半导体制程控制领域,Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。
薄膜监控
l 通过及时监测薄膜厚度和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力,实现有效工艺控制,可以提高生产良率,为客户节省时间和费用。
l DektakXT易于设定、测量快捷,通过不同位置的多点自动测量可以跟踪晶片的薄膜厚度,测量精度可达纳米级别。
l DektakXT zhuo yue的测试性能,为工程师提供了准确的薄膜厚度和应力测量,使其可以用来jing zhun调节刻蚀和镀膜工艺,提高产品的良率。
混合电路的DektakXT 3D图像 可以可靠测量厚度小于10nm的薄膜
表面粗糙度测量
- DektakXT可以快速测量材料的表面粗糙度,可以获得材料的质量信息:比如晶体生产是否满足要求,或手术植入体是否可以通过医学审核允许使用。使用软件中的数据库功能,设定 合格/淘汰条件,质量人员可以轻松确定
微机电系统(MEMS)
- 市场上wei yi可以测量敏感材料1mm高垂直台阶的台阶仪,且测试重复性在埃米级别;
- 为微机电系统(MEMS)研究提供了可靠的关键尺寸测量手段,确保器件满足要求;
- 具有超微力(NLite+)测量功能,可以保证在测量敏感材料时,轻触材料表面而不破坏样品表面,得到台阶高度以及表面粗糙度数据。