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Phoenix G2 ALD System 全自动原子层沉积系统(ALD)

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 香港电子器材有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型号 Phoenix G2 ALD System
  • 产地 美国
  • 厂商性质 代理商
  • 更新时间 2020/8/27 17:04:07
  • 访问次数 440

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


香港电子器材有限公司 成立于一九八五年,是一间为亚太地区半导体、电子及光电产业提供设备、材料以及技术销售与服务的公司。早在九零年代中就分别在中国台湾和新加坡设立分公司,以加强在远东地区的销售及服务能力。九零年代末期,亦在上海设立办事处,以迎接廿一世纪中国地区高科技领域飞腾时代的来临。到目前为止, 公司已于香港、新加坡、中国台湾、马来西亚及中国多个城市(包括北京、成都、大连、上海、深圳、苏州、天津、武汉及西安)设有服务中心, 为客户提供ZJ的服务。
香港电子 作为多种高科技设备制造商在远东地区的总代理,主要服务于半导体封装厂、芯片生产厂、液晶显示器厂、发光二极管厂、电路板厂,以及各大专院校和研究机构。完善的售后服务是香港电子一直以来所秉持的原则,为了维持良好的售后服务,工程师均定期的前往设备制造原厂接受培训或再培训,务求能为客户提供ZX的市场和产品信息,以及ZY质的售后服务。

其中光学产品线:美国普林斯顿CCD、光谱仪,加拿大Sciencetech太阳能模拟器、BNC延迟脉冲器、Gentec光电探测器、海洋光学光谱产品、Laser Quantum激光器、Crystalaser激光器、EOS红外探测器、Sydor Instruments X射线超高速扫描照相机 

欢迎您浏览我们的网页。若您对我们的产品有进一步的需求或疑问,请与本公司总部或位于各地的办事处联络,我们将竭诚地为您提供及时的服务。WZ:www.teltec.biz PI公司 WZ:www.piacton.com

美国普林斯顿CCD、光谱仪,加拿大Sciencetech太阳能模拟器、BNC延迟脉冲器、Gentec光电探测器、海洋光学光谱产品、半导体前道产品、Crystalaser激光器、EOS红外探测器、半导体后道产品

产地类别 进口 价格区间 面议
应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,电子,航天

全自动原子层沉积系统(ALD)

Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学,05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购,并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止,Veeco在ALD设备已有15年多的经验,已安装五百多台ALD设备。 

方式: Thermal batch ALD

优势: 大批量热ALD镀膜,可靠成熟,设计灵活,易于使用,并具有许多操作界面,许多内置安全功能

薄膜: 高达370 mm x 470 mm (Gen 2.5 Panels) / 100mm 晶片 - 240 to 360 / 150mm 晶片 - 80 to 160 / 200mm 晶片 - 80 to 100 / 300 mm 晶片 - up to 40 / 其它3D 对象自定义支架

设备尺寸: 900 mm x 1370 mm x 1700 mm

功率: 208 VAC 3 Phase, 8500 W (包含泵)

ZG温度: 可达285°C

沉积均一性: Al2O3 晶片<1.5% / Al2O3批量<1%

前驱体源瓶: 3.1 l 源瓶或 600 ml

载气/排气: N2 or Ar MFC flow control

原位分析选项: 臭氧发生器, LVPD,集成手套箱, 半自动负载

自动负载, SECS/GEM 界面

 



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