Firebird 全自动原子层沉积系统(ALD)
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 香港电子器材有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 Firebird
- 产地 美国
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2020/8/27 16:59:24
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美国普林斯顿CCD、光谱仪,加拿大Sciencetech太阳能模拟器、BNC延迟脉冲器、Gentec光电探测器、海洋光学光谱产品、半导体前道产品、Crystalaser激光器、EOS红外探测器、半导体后道产品
产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 医疗卫生,生物产业,电子,制药 |
Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学,05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购,并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止,Veeco在ALD设备已有15年多的经验,已安装五百多台ALD设备。
Firebird Batch Thermal ALD System
方式: Thermal batch ALD
优势:*自动化的批量生产系统,**生产能力(每月多40000片),ZD的成本,ZG的产量,极优的一致性针对脆弱/温度敏感的衬底解决方案,包括LNO/LTO/玻璃模块化热管理,以实现**工艺灵活性和产量
薄膜: 氧化物薄膜,包含封装层、光学涂层氧化物薄膜,包含封装层、光学涂层
反应腔体大小: 无缝晶片尺寸转换能力高达300mm