透射电镜原位MEMS加热/电学测量系统

 透射电镜原位MEMS加热/电学测量系统，  透射电子显微镜可以在较高时间分辨率下得到原子级空间分辨率。透射电子显微镜原位加热/电学测量系统是在标准外形的透射电镜样品杆内安装MEMS工艺制成的微加热芯片和电学测量芯片。微加热芯片可对样品进行可控温度的加热，电学测量芯片可对样品进行电性质测量。并可在进行加热和电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，*地扩展了透射电子显微镜的功能与应用领域。

        本系统硬件包括两部分，分别是加热/电学测量控制器、原位MEMS芯片样品杆。软件包括自动控温软件和自动电学测量软件。

性能指标
 

透射电子显微镜指标：

● 兼容型号电镜及极靴；

● 单倾可选高倾角版本；

● 可选双倾版本，β角倾转±25°（同时受限于极靴）；

● 测量电极数可选。

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电压输出大±200 V，小±100 nV；

● 电流测量大±1.5 A，小100 fA；

● 恒压或者恒流模式；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

加热与温控指标：

● 温度控制范围：室温到1200 ℃；

● 加热功率：大30 W；

● 控温稳定性：优于±0.1 ℃；

● 大升温速率：1000 ℃/ms。