FMJG 飞秒脉冲激光划痕系统,飞秒激光微纳加工
参考价 | ¥ 100000 |
订货量 | ≥1 件 |
- 公司名称 广东镭泰激光智能装备有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 FMJG
- 产地 松山湖大学创新城
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2020/6/6 12:00:30
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 建材,电子,航天,汽车,电气 |
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飞秒脉冲激光划痕系统,飞秒激光微纳加工 飞秒脉冲激光划痕系统,飞秒激光微纳加工
飞秒激光微纳加工系统专业为工业激光微加工研究和生产而研发的成熟的飞秒激光微加工系统,可用于飞秒
镭泰激光技术研究 ,飞秒激光的超快速时间和超高峰值特性将其能量全部、快速、准确地集中在限定的作用区域,实现对几乎所有材料的非热熔性冷处理,获得传统激光加工*的高精度、低损伤等*优势。通过与长脉冲作用情形的比较,详细阐述飞秒激光作用的基本原理及其本质特征。介绍了目前应用飞秒激光这一*优势在材料的超微细加工和结构处理、光子器件新型制作、高密度数据全新存储、医疗和生物工程等方面取得的新进展,揭示了飞秒激光在工业加工、微电子、光通讯、光信息和生命科学等高技术领域有着非常广泛的应用前景。
随着微纳制造技术的进步,器件不断的向微型化发展;而器件组分材料的的拓展和性能提升,又反过来对微纳加工技术提出了更高的要求。飞秒激光加工(Lasertech-FM)具有真三维加工能力和较高的加工分辨率,在微光学、微电子、微机械等领域具有广泛的应用前景。然而,利用飞秒激光加工直接烧蚀制备硬质材料微纳结构时,存在加工效率低和表面粗糙度大等问题。利用化学湿法腐蚀去除激光改性区域可以在很大程度上解决这个问题,但化学湿法腐蚀所用的腐蚀液通常为强酸强碱,存在安全问题。而且通常为各向同性腐蚀(晶向依赖腐蚀除外),严重的横向腐蚀引起的图形转移失真,造成了其与半导体工艺的兼容性问题。
其主要思想是利用低能量激光快速扫描,通过逐点能量淀积产生的光改性活性区,精确定义CAD结;由于活性区与非改性区的干法刻蚀速率差距(刻蚀比)高达两个数量级,由此通过材料祛除可以实现复杂微纳结构的转移和制备。利用这一技术制备的硅基微透镜具有较高的表面质量,表面粗糙度仅有8纳米。通过调控激光脉冲能量、脉冲数以及刻蚀时间等参数,他们实现了透镜直径与高度的独立调控。为了进一步验证硅基微凹透镜的表面质量,他们利用反射式成像系统对其进行了光学成像的测试,获得了较好的成像效果。并且利用此硅基微凹透镜阵列为模板实现了聚合物(PDMS)微凸透镜阵列的转写制备。另外,他们通过两种方式验证了干法刻蚀辅助飞秒激光加工技术与半导体工艺的兼容性:在现有半导体器件上实现微纳结构的集成,以及将飞秒激光加工过程插入到光刻工艺中,结合干法刻蚀实现复杂器件的集成。