ES612-20K ES612 ESD测试仪 晶圆芯片级 HBM, HMM, MM

ES612 ESD 测试仪 (HBM, HMM, MM)

ES612 ESD测试仪是一款2管脚测试仪，为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展，也可用作器件质检规范流程的一步。

ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，为数据分析提供可靠依据。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。

特点

• 低寄生参数，高质量脉冲

• 可定制，可扩展

• 可搭配探针台进行晶圆级测试

• 外置可选配的自动故障检测模块

• 触摸控制面板

• 可固件升级

• 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件

• 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
   

ES612 ESD测试仪是一款2管脚测试仪，为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM，HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展，也可用作器件质检规范流程的一步。

ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，为数据分析提供可靠依据。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。
 

• 低寄生参数，具有高质量脉冲
• 可定制，可扩展
• 可搭配探针台进行晶圆级测试
• 外置可选配的自动故障检测模块
• 触摸控制面板
• 可固件升级
• 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
• 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
   
• 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
• HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
• HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2009
• MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2012
   

• ES612 控制主机

  参数	ES612-2K	ES612-8K	ES612-12K	ES612-20K	单位
  输出电压	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
  小输出电压步长	1V (500V以内)   10V (2 kV以内)	1V (500V以内)   10V (8 kV以内)	1V (500V以内)   10V (12 kV以内)	1V (500V以内)   10V (20 kV以内)	V,   kV
  输出电压精度	± 1 % 或 ± 5 V				%
  尺寸	347 X 300 X 145				mm
  重量	5	6	6	7	kg
  电压、电流测量	电压、电流测量无源探头
  支持的示波器	Keysight， Tektronix，Lecory主流型号示波器
  支持的SMU	Keithley 24xx/26xx 系列

  外置人体模型（HBM ）波形发生模块

  参数	HBM-2K	HBM -8K	HBM -12K	HBM -20K	单位
  输出电压	± 10 ~ 2000	± 10 ~ 8000	± 10 ~ 12000	± 10 ~ 20000	V
  放电RC值	C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1%
  短路峰值电流Ips	0.67A ± 10 % per kV				ns
  短负荷上升时间Trs	2 < Trs < 10				ns
  短负荷衰减时间Tds	1300 < Tds < 1700				ns
  短负荷振铃Irs	< 15% of Ips
  500Ω负载峰值电流Ipr	Ipr/Ips ≥ 63%
  500Ω负载上升时间Trr	5 < Trr < 25				ns

  外置人体-金属模型（HMM ）波形发生模块

  (根据ANSI/ESD SP5.6-2009)

  参数	HMM-24K	单位	备注
  HMM峰值电流	90	A	3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %   IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)
  HMM电流@ 30 ns	48	A	≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30%  )
  HMM电流@ 60 ns	24	A	≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30%  )

  编号	型号	描述
  ES612 ESD测试仪
  1.1	ES612	ES612 ESD 测试仪控制主机, 大输出电压 8 kV / 20 kV,   RS232 SCPI 通讯端口
  1.2	ES612-HBM	人体模型波形发生模块（2管脚）
  1.3	ES612-HMM	人体-金属模型波形发生模块（2管脚）
  1.4	ES612-MM	机器模型波形发生模块（2管脚）
  其他配件选项
  2.1	ES62x-PC-HBM	电脑（预装脉冲及失效等级自动检测软件）
  2.2	KSMU2400	数字源表, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于被测器件DC损伤检测）
  2.3	ES62X-CMPS	简易手动探针台
  2.4	ES62X-XYZM-TIM	XYZ 微动探针座 – XYZ 行程500 mils，步进0.01mm
  2.5	ES62X-XYZM-PAA	PCB 探针臂套件，配备电压测量探头
  2.6	ES62X-XYZM-GAA	接地探针臂套件
  2.7	HBM-TC0.3	0.3 mm Pitch Test Clip
  2.8	HBM-TC2.5	2.54 mm Pitch Test Clip
  2.9	ES62X-XYZM-PP048	048 型号弹簧探针
  2.10	ES62X-XYZM-PP075	075 型号弹簧探针
  2.11	ES62X-XYZM-TN1	钨钢针