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DS-HMDS系列 HMDS基片预处理系统(真空镀膜机)

参考价 ¥ 85000
订货量 ≥1
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 上海灯晟仪器制造有限公司
  • 品牌 灯晟仪器
  • 型号 DS-HMDS系列
  • 产地 上海市奉贤区柘林镇
  • 厂商性质 生产厂家
  • 更新时间 2020/3/9 13:03:39
  • 访问次数 1542

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


上海灯晟仪器制造有限公司是集研发、设计、生产、销售、售后服务为一体的实验室仪器、环境测试仪器的*。公司采用令先的*制造,拥有国内外壹流的设备,高精度激光切割机,日本AMADA数控折弯机等设备,每台设备出厂时都经过严格检验,如模拟运输振动、温湿度校正、噪音检测、风速测量、压力检漏等。公司主要设计生产的干燥箱、真空箱、电子防潮箱、培养箱、恒温恒湿箱、药品箱、无氧高温烘箱、无尘高温烘箱、人工气候箱、高低温试验箱、冷热冲击试验箱、复合环境试验箱、锂电池检测*箱、光老化试验箱等系列产品,已广泛应用于电工电子、航空航天、*兵器、汽车船舶、石油化工、农林环保、商检药检、医疗疾控、药品制药等行业和领域,成为其缩短开发周期,提升产品质量的*的得力助手。

    公司秉承“质量为本、服务为根、锐意创新、追求更好”的经营理念,追求“客户的满意即是我们努力之方向”的服务宗旨,愿与新老客户携手共创辉煌。

干燥箱,无尘无氧洁净烘箱,培养箱,恒温恒湿称重箱,真空干燥箱,高低温试验箱,马弗炉,加热板,水浴锅,电子防潮箱

产地类别 国产 价格区间 5万-10万
应用领域 医疗卫生,生物产业,电子,印刷包装,纺织皮革

一· 应用领域:

  1. HMDS基片预处理系统(真空镀膜机)主要适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料,为基片在涂胶前改善表面活性,增加光刻胶与基底的粘附力的设备,也可用于晶片其它工艺的清洗,尤其在芯片研发和生产领域应用更加普及。

二· 应用背景:

2.1 在半导体(芯片/集成电路)生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。

2.2 光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶,等现象,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。通过HMDS预处理系统预处理后,使基片表面涂布一层硅氧烷为主体的化合物,可以*改善以上各种状况,从而大大提高了产品质量,降低次品率。

三· 工作原理:

3.1 设备为PLC工控全自动运行,通过高温烘烤基片,去除其表面的水分,充入HMDS六甲基二硅氮烷C6H19NSi2气体,在高温作用下,基片表面和HMDS充分融合反应,生成以硅氧烷为主体的化合物,使基片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

四· 使用流程:

4.1 启动真空泵使腔体内达到设定真空值,待腔内真空度达到某一高真空后,开始冲入氮气,然后再进行真空操作,再次充入氮气,经过反复真空充氮,可提高箱体内洁净度,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分,然后再次开始抽真空,冲入HMDS气体,在达到设定时间后停止充入,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应。当保持时间达到设定值后,再次开始抽真空,冲入氮气,完成整个作业过程。

五· 产品亮点:

5.1 控制采用PLC工控自动化系统,人机界面采用触摸屏,具有可靠性高,操作方便、直观等特点.

5.2 超大观测窗,外层采用透光度99%的亚克力板,内层采用高强度钢化玻璃,全程可视化监测。

5.3 内胆采用防腐防酸碱不锈钢,四角圆弧设计,易清洁。

5.4 去水烘烤和增粘(疏水)处理一机完成,无需转移,有效规避HMDS(六甲基二硅氮烷C6H19NSi2)泄露的危险。

5.5 处理更加均匀。由于它是以蒸汽的形式涂布到基片表面上,所以比液态涂布更均匀。
5.6 效率高。液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达4~20盒的晶片。
5.7 更加节省药液。以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,一次可以处理多达4~20盒的晶片,更加节省药液; 
5.8 更加环保和安全,HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以人接触不到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,降低对环境的污染。

六·安全保护:

6.1 超温报警   6.2 过流过载保护    6.3 快速熔断器   6.4 接地保护  6.5 缺相保护  6.6  漏电保护器   

七· 选配件

7.1 温度记录仪-----------------------------------------------------¥2500

7.2 独立限温控制器---------------------------------------------¥600

7.3 累时器-----------------------------------------------------¥300

7.4 USB 接口---------------------------------------------------¥500

7.5 打印机-----------------------------------------------------¥1500

八· 特别注意

8.1 HMDS基片预处理系统(真空镀膜机)测试条件:空载、无强磁、无震动、环境温度20℃、环境相对湿度50%RH。

8.2 本公司可根据客户不同需要,设计,制造各种相关温度、湿度、真空度、洁净度、气体浓度等参数的箱体设备。



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