分辨分析型透射电子显微镜

分辨分析型透射电子显微镜标配了照明系统球差校正器，是一款原子分辨分析型透射电镜，拥有先的STEM-HAADF像分辨率（78pm）。标配照明系统球差校正器，且大限度地提升了装置的机械稳定性和电气稳定性，实现了先的STEM-HAADF像分辨率 （78pm*1、82pm*2）。

分辨分析型透射电子显微镜JEM-ARM200F标配了照明系统球差校正器，是一款原子分辨分析型透射电镜，拥有世先的STEM-HAADF像分辨率（78pm）。

• STEM-HAADF像的保证分辨率（78pm *1  ）为世界之先性能
• 标配照明系统球差校正器，且大限度地提升了装置的机械稳定性和电气稳定性，实现了先的STEM-HAADF像分辨率 （78pm*1、82pm *2 ）。 此外经过球差校正的电子束与一般的场发射透射电镜相比，电流密度可以高出十倍。使用束斑更小、电流密度更大的电子束，能在进行原子水平的元素分析同时,大幅度地缩短测试时间，*地提高分析效率。
  *1 配备冷场发射电子枪  *2 配备肖特基场发射电子枪

• 通过STEM-ABF像直接观察轻元素的原子阵列
• JEM-ARM200F标配了扫描透射环形明场(STEM-ABF)成像模式，通过STEM-ABF像能直接观察晶体样品中轻元素的原子阵列，还可以同时获取STEM-HAADF像，在样品结构的分析中能够发挥巨大威力

• 用100mm2的大面积SDD *3 进行原子分辨分析
• JEM-ARM200F配备日本电子制造的100mm2的大面积硅漂移检测器(Silicon Drift Detector:SDD) *3 ，可以进行快速、高灵敏的EDS元素分析，与经过球差校正的电子束流组合，能进行原子级的元素面分布，在原子水平的分辨率下进行成份分析。
  *3 选配

• 用冷场发射电子枪 *4 进行观察和分析
• 冷场发射电子枪(Cold-FEG) *4 配备新开发的真空系统，与传统的冷场发射电子枪不同，Flashing操作后可以马上使用。由于光源小可以获得更高分辨率的图像。此外冷场发射电子枪的能量发散度小，不仅能进行高分辨率的EELS分析，还能降低色差。
  *4 选配

• 成像系统球差校正器*5
• 使用成像系统的球差校正器 *5 ，透射电子像(TEM)的分辨率可以高达110pm。
  *5 选配
• 产品规格
• 
  分辨率扫描透射暗场像82pm（加速电压200kV、肖特基场发射电子枪）
  78pm（加速电压200kV、冷场发射电子枪）透射像（点分辨率）190pm（加速电压200kV）
  110pm（加速电压200kV、安装TEM球差校正器）
  倍率扫描透射像X200～X150,000,000透射像X50～X2,000,000
  电子枪电子枪肖特基场发射电子枪 冷场发射电子枪（选配件）加速电压200～80kV（标准200kV、80kV）
  样品系统样品台全对中侧插式测角样品台样品尺寸3mmΦ大倾斜角X轴: ±25°　Y轴: ±25°（使用双倾样品杆）移动范围X,Y: ±1mm　Z: ±0.1mm（马达驱动／压电驱动）
  球差校正器照明系统球差校正器标配成像系统球差校正器选配件
  选配件主要选配件能谱仪（EDS） 电子能量损失谱仪（EELS）
  CCD数码相机系统
  TEM/STEM断层扫描系统