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JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜

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液相色谱 气相色谱仪 离子色谱仪 色谱柱 分析试剂 教学仪器

应用领域 医疗卫生

JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜应用了日本电子旗舰机-JSM-7800F Prime采用的浸没式肖特基电子枪技术,标配了TTLS系统(Through-The-Lens System),因此无论是在高/低加速电压下,空间分辨率都比传统机型有了很大的提升。

  • 产品特点
    • JSM-7200F的电子光学系统应用了日本电子旗舰机-JSM-7800F Prime采用的浸没式肖特基电子枪技术,标配TTLS系统(Through-The-Lens System),无论是在高/低加速电压下,空间分辨率都比传统机型有了很大的提升。此外,保证300nA的大束流,能兼顾高分辨率观察和高通量分析,具有充实的自动功能和易用性,是新一代的多功能场发射扫描电镜。

    • <特点>

    • JSM-7200F的主要特点有:应用了浸没式肖特基电子枪技术的电子光学系统;利用GB(Gentle Beam 模式)和各种检测器在低加速电压下能进行高分辨观察和选择信号的TTLS系统(Through-The-Lens System);电磁场叠加的混合式物镜。

    • 浸没式肖特基电子枪

    • 浸没式肖特基场发射电子枪为日本电子的专技术,通过对电子枪和低像差聚光镜进行优化,能有效利用从电子枪中发射的电子,即使电子束流很大也能获得很细的束斑。因而可以实现高通量分析(EDS、WDS面分析、EBSD分析等)。

    • TTLS(through-the-lens系统)

    • TTLS(through-the-lens系统)是利用GB(Gentle Beam 模式)在低加速电压下能进行高分辨率观察和信号选择的系统。 利用GB(Gentle Beam 模式)通过给样品加以偏压,对入射电子有减速、对样品中发射出的电子有加速作用,即使在低加速电压(入射电压)下,也能获得信噪比良好的高分辨率图像。 
      此外,利用安装在TTLS的能量过滤器过滤电压,可以调节二次电子的检测量。这样在极低加速电压的条件下,用高位检测器(UED)就可以只获取来自样品浅表面的大角度背散射电子。因过滤电压用UED没有检测出的低能量电子,可以用高位二次电子检测器(USD,选配件)检测出来,因此JSM-7200F能同时获取二次电子像和背散射电子像。

    • 混合式物镜(电磁场叠加)

    • JSM-7200F的物镜采用了本公司新开发的混合式透镜。 
      这种混合式透镜是组合了磁透镜和静电透镜的电磁场叠加型物镜,比传统的out-lens像差小,能获得更高的空间分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,所以可以观察和分析磁性材料样品。

    • 应用实例

    • ◇ 利用混合式物镜、GB(Gentle Beam 模式)进行观察的实例 

    • 利用低像差的混合式物镜和GB 模式,即使对不导电样品也能在极低的加速电压下进行高分辨率成像。

    •  

    • 样品: 介孔二氧化硅 ( 中国上海交通大学车顺爱教授)

    • ◇ 使用高位检测器(UED)、能量过滤器进行观察的实例

    • 下图是利用UED在低加速电压条件下获得的背散射电子像。由于是大角度散射电子成像,成份信息非常丰富,但加速电压为0.8kV比在5kV时的测试,能获得更细微的浅表面信息。象这样在极低加速电压下要获取样品浅表面的背散射电子成份像,不仅需要高位检测器,还需要用来去除二次电子的能量过滤器。
    • 样品:镀金表面,   能量过滤器: -250 V  

    • 产品规格
    •  
      JSM-7200FJSM-7200FLV
      分辨率1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV)1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV),1.8nm (30kV,  LV )
      放大倍率×10~×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960pixels display);
      加速电压0.01kV~30kV
      束流1pA~300nA
      自动光阑角佳控制透镜ACL内置
      大景深模式内置
      检测器高位检测器(UED)、低位检测器(LED)
      样品台5轴马达驱动样品台
      样品移动范围X:70mm  Y:50mm  Z:2mm~41mm 倾斜-5~+70°  旋转360°
      低真空范围-10pa~300pa
      • 主要选配件

      • 可插拔式背散射电子探头(RBED)

      • 高位二次电子探头(USD)

      • 低真空二次电子探头(LV-SED)

      • 能谱仪(EDS)

      • 波谱仪(WDS)

      • 电子背散射衍射系统(EBSD)

      • 阴极荧光系统(CLD)

      • 样品台导航系统(SNS)

      • 电子束曝光系统

JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜危险化学品的批发、零售(在许可证有效期限及核定范围内经营)。 第三类、第二类医疗器械、仪器仪表、化工产品(除危险化学品)、玻璃制品、五金交电、机械设备、一类医疗器械、消防器材、办公设备、文具用品、体育用品、建材、日用品的批发、零售;教学仪器的安装、维修;自营和代理货物和技术的进出口,但国家限定经营或禁止进出口的货物和技术除外;计算机软件开发,商品信息咨询;色谱仪器及色谱材料的分析测试服务;实验室设备、仪器仪表安装、维修、维护、拆除、搬运,货物装卸、搬运服务以及其他按法律、法规、*决定等规定未禁止或无需经营许可的项目和未列入地方产业发展负面清单的项目。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)



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