JH-Ⅵ-1 JH-Ⅵ-1电阻温度特性测定仪（阻温函数仪）

JH-Ⅵ-1电阻温度特性测定仪（阻温函数仪）该仪器采用*的电子、数控技术，用于测试各种导电材料介质（电阻）的阻值随温度变化的值，通过绘制电阻，温度由线，可以直观地定性分析电阻温度变化率。适用于大专院校电子材料实验室等的研究和各教学演示用。

JH-Ⅵ-1电阻温度特性测定仪（阻温函数仪）主要技术参数：

1.温度范围：室温—600℃；

2.电阻范围：0—1MΩ，20MΩ，100MΩ等。（可选择）

3.加热功率：0—300W可调；

4.电源：220V±10﹪  频率：50HZ；

5.环境温度：0—40℃；

6.环境湿度：≤85℃﹪

电阻温度系数的定义与它的内在物理含义，随着电阻温度系数的增加，金属应该具有更好的电迁移性能和应力迁移性能。为验证此种结论，我们对一个铜工艺技术的研发过程中不同阶段的电迁移测试的历史数据（失效时间与电阻温度系数）进行了总结，电迁移失效时间和电阻温度系数是在相同的测试结构以及测试条件下得到的，不同的只是制造工艺。电阻温度系数与失效时间具有正相关性，大的电阻温度系数具有比较长的失效时间。电阻温度系数变化10%时，失效时间变化了一个数量级，可见电阻温度系数是一个可以反映金属性能的非常敏感的参数，能够对金属可靠性进行早期评估。

在两组工艺的电阻温度系数相差较小时，电迁移失效时间也比较接近，但并不*服从正相关性。这说明在电阻温度系数没有明显差异时（<1%），我们不能仅仅根据电阻温度系数的大小来判断工艺的好坏，结论会受到电阻温度系数本身的测量精度及电迁移测试精度的影响。

为了研究电阻温度系数测量精度对可靠性测试的影响，我们安排了两组芯片级恒温电迁移测试在同一片晶圆上，一组样品使用实际测量的电阻温度系数（0.002921/K），一组使用原先的电阻温度系数（0.002970/K）。原有的比较大的电阻温度系数具有比较短的失效时间。从数据上看，结果似乎与先前的正相关性相反，为了解释这个矛盾，我们需要研究电阻温度系数在恒温电迁移测试中的作用。恒温电迁移测试是通过电流的焦耳热对金属进行加热并保持在一个恒定的温度上，温度是根据电阻与温度的关系计算的。

实际测试中，测试程序会根据给定的条件利用公式计算出测试温度下的电阻，并在测试中当测试结构的阻值到达此目标阻值时认为温度到达测试温度。如果给定的电阻温度系数大于实际值，计算出来的目标阻值将会大于实际的阻值，这意味着实际的测试温度高于设定的温度。

因此，给定的比较大的电阻温度系数将会的到比较短的失效时间。电阻温度系数的误差将引起相同比例的测试温度的误差，例如对于一个300 度的测试来说，1%的电阻温度系数的误差将引起3 度的测试误差和更大的失效时间的误差。这从另一方面说明了电阻温度系数测量的准确性对测试结果以及金属性能判定的重要性。需要指出的是，电阻与温度的线性关系只是在一定的温度范围内（0 - 180℃）保持恒定，电阻温度系数的测量需要在此温度范围内完成。