F-50、F-60 膜厚测量仪——自动厚度测绘系统
参考价 | ¥ 16 |
订货量 | ≥1 件 |
- 公司名称 岱美仪器技术服务(上海)有限公司
- 品牌 航天睿博
- 型号 F-50、F-60
- 产地 美国
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2020/5/19 11:11:23
- 访问次数 1013
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
产地类别 | 进口 | 价格区间 | 50万-100万 |
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应用领域 | 化工,能源,电子,航天,电气 |
*代理商——岱美仪器技术服务(上海)有限公司
F50膜厚测量仪——自动厚度测绘系统
自动膜厚映射
Filmetrics F50系列产品可以每秒绘制两个点的薄膜厚度。电动R-Theta载物台可以接受标准和定制的卡盘,用于直径大为450mm的样品。(这是在我们的生产系统中执行数百万次测量的同一寿命阶段!)
地图图案可以是极性,矩形或线性的,也可以创建自己的样式,而对测量点的数量没有限制。提供了数十种预定义的地图图案。F50膜厚映射系统连接到Windows®计算机的USB端口,可以在几分钟内完成设置。
不同的F50仪器的主要区别在于厚度和波长范围。标准F50是非常受欢迎的。通常,较短的波长(例如F50-UV)用于测量较薄的膜,而较长的波长则可以测量较厚,更粗糙和更不透明的膜。
F54 膜厚测量仪——自动厚度测绘系统
自动膜厚映射
借助F54*的光谱反射系统,可以快速轻松地绘制直径大为450毫米的样品的薄膜厚度。电动r-theta平台自动移动到选定的测量点,并提供每秒2个点的速度测量。
从数十种预定义的极性,矩形或线性地图图案中选择一种,或创建自己的不受限制的测量点数量。整个桌面系统只需几分钟即可完成设置,任何具有基本计算机技能的人都可以使用。
F54膜厚映射系统连接到Windows®计算机的USB端口,可以在几分钟内完成设置。
不同仪器的主要区别在于厚度和波长范围。通常,较短的波长(例如F54-UV)用于测量较薄的膜,而较长的波长则可以测量较厚,更粗糙和更不透明的膜。
F60系列膜厚测量仪——自动厚度测绘系统
用于生产环境的自动厚度映射
Filmetrics F60-t系列像我们的F50产品一样绘制膜的厚度和折射率,但是它还包含许多专门针对生产环境的功能。其中包括自动找到缺口,自动机载基线,带运动互锁功能的封闭式测量台以及带有预装软件的工业计算机。
不同的F60-t仪器的主要区别在于厚度和波长范围。通常,需要较短的波长(例如F60-t-UV)来测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以测量较厚,更粗糙和更不透明的薄膜
岱美有限公司与Filmetrics从03年开始的合作关系,单是国内16年间已卖出超过600台不同型号仪器,在国内有多个服务处均有工程师,保证能为客户提供及时的服务。
经济实惠的薄膜厚度测量系统的销售*,让复杂测量变得简单
产品简介:
美国 Filmetrics 公司生产的薄膜厚度测量仪利用反射干涉的原理进行无损测量,可测量薄膜厚度及光学常数。测量精度达到埃级的分辩率,测量迅速,操作简单,界面友好,是目前市场上jiju性价比的薄膜厚度测量设备。设备光谱测量范围从近红外到紫外线,波长范围从200nm到1700nm可选。凡是光滑的,透明或半透明的和所有半导体膜层都可以测量。其可测量薄膜厚度在 1nm 到 13mm 之间,测量精度高达1 埃,测量稳定性高达 0.7 埃,测量时间只需一到二秒, 并有手动及自动机型可选。可应用领域包括:生物医学(Biomedical), 液晶显示(Displays), 硬涂层(Hard coats), 金属膜(Metal), 眼镜涂层(Ophthalmic) , 聚对二甲笨(Parylene), 电路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半导体材料(Semiconductors) , 太阳光伏(Solar photovoltaics), 真空镀层(Vacuum Coatings), 圈筒检查(Web inspection applications)等。
应用:
通过Filmetrics膜厚测量仪新反射式光谱测量技术,多达3-4层透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在数秒钟测得。其应用广泛,例如:
半导体制造 | 液晶显示器 | 生物医疗元件 | 微机电系统 | 光学镀膜 |
Photoresist 光刻胶 Oxides 氧化物 Nitrides 氮化物 SOI 绝缘体上硅 | Cell Gaps液晶间隙 Polyimide 聚酰亚胺保护膜 ITO 纳米铟锡金属氧化物 | Polymer/Parylene Layers 聚合物/聚对二甲苯涂层 Membrane/Balloon Wall Thickness 生物膜/气泡球厚度 Drug-Coated Stent 药物涂层支架 | Silicon Membranes 硅膜 AlN/ZnO Thin Film Filters 氮化铝/氧化锌薄膜滤镜 | Hardness Coatings 硬镀膜 Anti-reflection Coatings 增透镀膜 Filters滤光 |
膜层实例:
几乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能测。包括:
SiO2(二氧化硅) SiNx(氮化硅) DLC(类金刚石碳)
Photoresist(光刻胶) Polyer Layers(高分子聚合物层) Polymide(聚酰亚胺)
Polysilicon(多晶硅) Amorphous Silicon(非晶硅)
基底实例:
对于厚度测量,大多数情况下所要求的只是一块光滑、反射的基底。对于光学常数测量,需要一块平整的镜面反射基底;如果基底是透明的,基底背面需要进行处理使之不能反射。
包括:
Silicon(硅) Glass(玻璃) Aluminum(铝)
Gas(砷化镓) Steel(钢) Polycarbonate(聚碳酸脂)
Polymer Films(高分子聚合物膜)
产品应用,在可测样品基底上有了*的飞跃:
●几乎所有材料表面上的镀膜都可以测量,即使是药片,木材或纸张等粗糙的非透明基底。
●玻璃或塑料的板材、管道和容器。
●光学镜头和眼科镜片。
服务:
免费样机演示及测量
轻轻一按即可实现测量!
请联系我们,专业的应用工程师将为你演示它是如此的方便!
优势:
* 提供在线诊断
* 配送独立的软件包
* 精通的历史功能即程序数据可存储、复制及策划结果
* 免费软件升级
极易操作、快速、准确、机身轻巧及价格便宜为其主要优点,Filmetrics提供以下型号以供选择:
一、单点测量系统(从 1nm 到 13mm 单层及多层厚度测量)
F20 | *销非常好的薄膜测量系统,有各种不同附件和波长(由220nm紫外线区 至1700nm近红外线区)覆盖范围,为任意携带型,可以实现反射率、膜厚、n、k值测量。 |
F3-sX | 能测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米, 例如硅片 |
F10-ARc | 可测量镜片和其他曲面的反射率,用于涂层厚度测量 |
F10-HC | 测量硬涂层和防雾层厚度和折射率,聚碳酸酯硬涂层在汽车等行业应用普通 |
F3-CS | 提供微小视野及微小样品测量,USB连接电脑即可使用,携带方便 |
F10-AR | 测量眼科镜头和其他弯曲表面的反射率。还可以提供测量硬涂层厚度和透射率的可选件 |
F10-RT | 可同时测量反射率和透射率,也可选配测量膜层厚度和折射率。普遍应用于真空涂层领域 在F20实现反射率跟穿透率的同时测量,特殊光源设计特别适用于透明基底样品的测量。 |
二、F40 系列- 基于微米(显微)级别光斑尺寸厚度测量
F40 | 可以固定到您的显微镜上来测量小至 1um 光斑点的厚度和折射率 这型号安裝在任何显微镜外,可提供小到1um光點(100倍放大倍數)來測量微小樣品。 |
三、F50/F60系列- 表面的自动测绘
F50 | 为我们的F20系列产品增添自动测绘能力,以每秒钟 2 个点的快速测绘厚度和折射率 这型号配备全自动XY工作台,由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通过快速扫瞄功能,可取得整片样品厚度分布情况(mapping)。 |
F54 | 能以每秒测量两个点的速度快速的测绘薄膜厚度,样品直径可达450毫米 |
F60-t | 满足生产环境的台式测绘系统,包括自动基准确定、凹槽定位、全封闭测量平台以及其它装置 |
四、F30 系列- 在线厚度监控仪器
F30 | 检测金属有机化学气相沉积(MOCVD)、阴极溅镀和其他沉积工艺中监控反射率、厚度和沉积率 这型号可安装在任何真空镀膜机腔体外的窗口。可实时监控长晶速度、实时提供膜厚、n、k值。并可切定某一波长或固定测量时间间距。更可加装至三个探头,同时测量三个样品,具紫外线区或标准波长可供选择。 |
F32 | 实时监控薄膜顶部和底部的反射率和沉积速率 |