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磁控溅射

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磁控溅射

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沈阳美济真空科技有限公司是从事真空镀膜技术的高科技公司。

  本公司专注于真空产品设计制造、薄膜技术、真空电子产品的设计制造、自动控制系统及智能控制软件的研发。

  公司拥有真空机械加工厂,有数控车床,数控剪板机,数控折弯机,氩弧焊机,其它如超高真空检漏仪、超声波清洗机等,研发制造的真空产品能够满足客户要求。

  公司设计工程师*以来一直专注于高真空、超高真空领域的研究,成熟产品诸如磁控溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、有机小分子发光显示(OLED)、分子束外延设备(MBE)、离子镀膜设备、真空热压炉、真空退火炉,真空室真空度可达3×10-8Pa,真空炉温度可达1700摄氏度。

空机械加工厂,有数控车床,数控剪板机,数控折弯机,氩弧焊机,其它如超高真空检漏仪、超声波清洗机等

产地类别 国产 价格区间 面议

1、基片尺寸:≥110×110mm,基片加挡板。
2、基片台:基片台旋转,转速0-25rpm连续可调,光控定位;
衬底加热:磁控溅射采用真空加热器,室温~1500℃可调可控;
反溅清洗;磁控溅射采用射频电源对基片表面进行“清洗/活化”;
3、基片架转速0~25转/分,可控可调。
4、基片架可加热、可旋转、可升降。
5、靶面到基片距离60~90mm可调。
6、Ф3英寸圆形平面磁控溅射永磁靶;可镀铁磁材料的磁控溅射靶1支,可镀普通靶材的磁控溅射靶1支;靶材尺寸Ф3英寸。
7、镀膜室极限真空:≤5×10-5Pa,抽至 10-4Pa≤20min;。
8、速率和膜厚监控:石英晶振膜厚仪,在线监测蒸发速率,监控膜厚;厚度监测范围:1Å~99999Å,分辨率1Å;速率监测范围:0.1Å~99.9Å /s,分辨率0.1Å;



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