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EQ-TM106膜厚监测仪

具体成交价以合同协议为准

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  沈阳科晶立足国内市场实际情况,以提供Z为实用的产品为己任。产品的质量、精度在向国外企业看齐的基础上,产品的价格定位却仅仅是其几分之一。性价比不仅吸引了众多国内客户,而且令挑剔的外国客商也称赞不已,产品远销于印度、马来西亚、土耳其、波兰、突尼斯、澳大利亚等国家,并大量出口于美国。

  沈阳科晶为了更好地服务客户,专门设立了开放式专业实验室,配备了优秀的专业技术人员。在这里,不仅可以提供亲身的产品体验环境,而且还可得到专业人员的操作指导。开设以来,制作的样品达上千件,接待来访客参观户百余次,其中包括多次外国友人的来访。在此,沈阳科晶全体员工诚挚地欢迎您的到来,并希望您能提出宝贵的意见与建议。

  沈阳科晶一路走过的历程,是为我国材料研究事业全力贡献的历程,是以实际行动将自己打造成国内材料分析设备品牌的历程,是与国外同行不断缩小差距的历程,是与广大客户相扶相持的成长历程。虽一路充满坎坷与荆棘,但坚持不懈的沈阳科晶人仍全力以赴的前行。秉承这份坚持,相信在不久的将来,沈阳科晶也将会成为市场上专业的、杰出的材料分析设备品牌,沈阳科晶的明天会更加灿烂辉煌。

 

我们拥有同类型中优质性价比的产品!                 

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欢迎来到沈阳科晶,我们是国内实验室样品制备设备领域的专家!

 

 

 

 

 

 

 

 

切割机,金刚石线切割机,研磨抛光机,提拉涂膜机,旋转涂膜机,真空镀膜机,管式炉,箱式炉,电池实验研究设备,清洗机

产地类别 国产

    EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术进行膜厚的在线监测。主要用于MBEOLED热蒸发、磁控溅射等设备薄膜制备过程中用于膜层厚度及镀膜速率进行实时监测EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM(脉冲宽度调制)模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制,从而检测所制备薄膜的厚度EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间,原理简单,操作方便,尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。 

产品名称

EQ-TM106膜厚监测仪

产品型号

EQ-TM106

主要特点

1可与计算机连接

2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态

3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件

4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

技术参数

EQ-TM106-1监测组件

1、电源:DC  5V(±10%)最大电流400mA

2、频率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136Å

4、膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度

5、测量速度:100ms-1s/可设置

6、测量范围:500000Å(

7、标准传感器晶体:6MHz

8、计算机接口:RS-232/485串行接口波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置数据位8停止位1校验

9、模拟输出:8比特分辨率PWM脉宽调制输出集电极开路或内部5V输出

10、工作环境:温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

   11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2显示仪

1、输入电源:AC 220V±10%

2、输出电源:DC  5V  3A

3、显示器:12×2数码管LED

4、通讯端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位8位停止位1位奇偶校验

  5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探头

1、适用晶片频率:6MHz

2、适用晶片尺寸:Ø14mm

3、安装法兰:CF35

4、冷却水管:Ø3mm,长度300mm、500mm、1000mm

5、冷却水压:<0.3MPa

6、气动挡板路管:Ø3mm

7、压缩空气压力:<0.8MPa,>0.5MPa

8、烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100℃

9、电气接口:BCN插座

标准配件

1

EQ-TM106-1监测组件

1个

2

EQ-TM106-2显示仪

1台

3

EQ-TM106-3探头

1个

 



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