PI P-363 PicoCube XY（Z）压电扫描仪

PI P-363 PicoCube XY(Z)压电扫描仪

：PI(Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统

P-363

PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

§ 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪

§ 用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具

§ 谐振频率9.8千赫兹

§ 电容式传感器可实现gao精度

§ 并联测量技术可实现导向误差的自动化 补偿

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

应用领域

§ 扫描探针显微镜

§ 原子力显微镜

§ 扫描和筛选

规格

                      P-363.3CD         P-363.2CD        单位

主动轴                  X、Y、Z            X, Y

运动和定位

集成传感器               电容式          电容式

-250至+250伏时X、Y向上的开环行程  ±3    ±3             微米

 -250至+250伏时Z向上的开环行程    ±2.7    -             微米

X、Y向上的闭环行程                  ±2.5   ±2.5          微米

Z向上的闭环行程      ±2.5    -      微米

分辨率，开环*      0.03  0.03纳米

分辨率，闭环      0.1  0.1 纳米

线性误差      0.05   0.05 %

重复精度 1 1 纳米

X、Y向上的螺距/偏转角 0.5   0.5微弧度

Z向运动时的倾斜0.2-微弧度

X、Y向上的直线度3 3纳米

PI P-363 PicoCube XY(Z)压电扫描仪