日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪CS-5300

专业仪器设备与测试方案供应商——上海坚融实业有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 坚友（上海）测量仪器有限公司JETYOO INSTRUMENTS，为原安捷伦Agilent【现是德KEYSIGHT】品牌技术经理-坚JET与吉时利KEITHLEY【现泰克Tektronix】品牌产品经理-融YOO于2011年共同创办，专注工业测试领域十六年，志在破旧立新！*进口仪器设备大多数厂家仅在国内设销售点，但技术支持薄弱甚至没有，而代理经销商也只做商务，不做售前技术支持/测试方案和售后使用培训/维修校准的空白。我们的技术型销售均为本科以上学历，且均有10年以上测试行业经验，以我们*进*的经营理念，与客户互惠互利合作双赢，重在协助用户采购与技术工程师的工作，提供较有竞争力的供应链管理与售前售后技术支持。坚融实业——一家致力于为祖国用户提供仪器设备、测试方案、技术培训、维修计量全面服务的仪器设备综合服务商。

日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪CS-5300
CS-3200日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪 3kV、400A
CS-3300日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪 3kV、1,000A
CS-5100日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪 5kV
CS-5200日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪 5kV、400A
CS-5300日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪 5kV、1,000A
CS-5400日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪 5kV、1,500A
CS-10400日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪 10kV、4,000A
CS-10800日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪 10kV、8,000A
CS-12800日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪12kV、8,000A
CS-15800日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪15kV、8,000A

型号
模式
CS-3300
CS-3200
CS-3100
CS-5400
CS-5300
CS-5200
CS-5100
CS-10800
CS-10400 CS-12800 CS-15800
+DC - - 10kV/400mA 12kV/266mA 15kV/266mA
LEAKAGE/DC
全波整流/AC
3kV/75mA（150mA） 5kV/25mA（25mA） 3kV/75mA（150mA）
300V/750mA（1.5A）
30V/7.5A（15A）
型号
模式
CS-5100
CS-3100
CS-5200
CS-3200
CS-5300
CS-3300 CS-5400 CS-10400
CS-10800
CS-12800
CS-15800
±脉冲 -
(无HC模式）
- 1,000A/10kW/40V 1,500A/12kW/30V
- 8,000A/80kW/40V
4,000A/60kW/60V
400A/4kW/40V 600A/4.5kW/30V 400A/6kW/60V
40A/400W/40V 60A/450W/30V 40A/600W/60V
HV模式 zui大峰值电压/zui大峰值电流（脉冲电流）
HC模式 zui大峰值电流/zui大峰值功率/zui大峰值电压
各机型的输出范围
共通规格

品 名 型 号 备 注
主机 半导体曲线图示仪 CS-3100 3kV
CS-3200 3kV、400A
CS-3300 3kV、1,000A
CS-5100 5kV
CS-5200 5kV、400A
CS-5300 5kV、1,000A
CS-5400 5kV、1,500A
CS-10400 10kV、4,000A
CS-10800 10kV、8,000A
CS-12800 12kV、8,000A
CS-15800 15kV、8,000A

测试台 测试台 S CS-301 CS-3100标准配件
测试台 M CS-302 CS-3200/3300标准配件
CS-303 CS-5100/5200/5300标准配件
CS-304 CS-5400标准配件
测试台 L CS-305 配备警告灯、温控开关、冷却风扇、LED照明、自动锁定
CS-307 对应扫描系统、自动锁定
探针台连接线 探针台连接线 CS-306 CS-3xxx/CS-5xxx用（除CS-5400外）
CS-308 CS-5400用
鳄鱼夹 小型鳄鱼夹 红色 10个套装 CS-001
小型鳄鱼夹 黑色 10个套装 CS-002
测试线 高压线 红色 5根套装 CS-003 香蕉头、5kV、30cm
普通线 黑色 5根套装 CS-004 香蕉头、30cm
标准线套装 CS-005 除CS-3100外其余机型标准配置。香蕉头、30cm（HV用红色2根、绿色2根、
黑色2根、黄色1根）、鳄鱼夹（红色2个、绿色2个、黑色2个、黄色1个）
High Current线 CS-006 20cm,2根套装 CS-5400标准配置
High Current线 CS-007 30cm,2根套装 CS-10400/10800标准配置
软件 半导体参数扫描 CS-800 安装于主机内
半导体参数测试 CS-810 安装于电脑中
测试夹具 测试端口转接夹具 CS-500 主机内标准配置1个
TO类测试夹具 CS-501A
AXIAL类测试夹具 CS-502 AXIAL封装
TO-263-3(D2PAK)类测试夹具 CS-503 TO-263-3 / D2PAK
TO-252-3类测试夹具 CS-504
TO-263-7类测试夹具 CS-505
TO-252-5类测试夹具 CS-506
SC-70-3(SOT-323-3)类测试夹具 CS-507
扫描部件 开关控制部件 CS-701 各部件的总控
LV继电器部件 CS-702 300V/30A 10CH
HV继电器部件 CS-703 5kV/3A 10CH
HC继电器部件 CS-704 2kV/1,000A 10CH
HV-HC切换部件 CS-705 5kV/1,000A 带HV/HC切换功能输出部件
输出部件 CS-706 5kV/15A
门极短接部件 CS-707 图示仪部:300V/8A 模块部:5kV/8A 10CH
HV-HC继电器部件2CH CS-708 5kV/1,500A 2CH
HV-HC继电器部件4CH CS-709 5kV/1,500A 4CH
HV-HC切换部件（CS-5400用） CS-710 5kV/1,500A 带HV/HC切换功能输出部件
测试仪用推车 测试仪用推车 MT-600L zui大承重：100kg
品 名 型 号 备 注
带加热板功能测试台 CTJ1050 加热器表面5kV绝缘处理 zui高温度200℃ 带自动锁定功能
加热板 PA3020 加热部尺寸 200×200mm
加热板 PA3040 加热部尺寸 200×400mm

日本岩崎IWATSU半导体曲线图示仪CS-5300
CS-10000
CS-5000
CS-3000
适用于无论大小容量的IGBT、MOSFET、三极管、二极管等各种半导体的特性测试
10kV to 15kV ,～8,000A
5kV,～1,500A
3kV ,～1,000A
系列
系列
系列
集漏电流与大电流为一台 可自动测试

特长
具有能确认实际印加电流/电压波形的Wave模式
可以像示波器一样通过观测模块上实际印加的波形（电流、电压）来确定脉宽和实际测试点（Timing）。
可通关确认实际波形，适时调整脉宽和测试点。
避免了示波器的探棒影响，可确认到实时的异常信号。
可非常容易地确认到模块发热等引起的振荡等热异常情况。
I-V曲线/时间轴波形的切换
测试项目/量程
脉宽
测试点
电流波形
电压波形
采用电路图模式显示内部的配线状态
「CONFIGURATION」
更好地避免模块测试时的误操作。
与电脑*结合，可通过与自动扫描器?恒温箱连接后进行全自动测试
USB存储器
可用来保存图像、数据及设置条件。
图像可以保存为TIFF,BMP,PNG格式
背景可选择黒或白、图像可选择彩色或黑白。
波形数据可同时保存为文本文件和二进制文件。
远程控制工具（无偿）
如因保密需要无法使用USB存储器时，可以通过
安装在电脑中的远程控制工具进行数据存取。
半导体参数测试软件 CS-810（选用件）
通过对主机的远程控制，可实现各种自动测试的软件。
传统上通过曲线图示仪难以进行的疲劳试验、加热实验或同时控制恒温箱进行
多温度点实验都可使用本软件来实现。
简单易用，追求人性化的*进功能
与电脑*结合的全自动化
局域网
标准配置（主机背面）

SWEEP
测试点数可调整。可根据需要的扫描速度及分辨率来设置。
根据不同用途可改变扫描方向。同时具有客户功能，可以仅对某一段进行扫描。特别是在自动测试时可以实现高速且高分辨率的测试。
Vth?hFE自动检测功能（选用件CS-800）可在条件设定后进行自动测试，避免了之前的繁杂操作。
【DOWN】
【UP】
【CUSTOM】
SWEEP开始点
限制扫描功能（选用件CS-800）
在一般的扫描测试中加入电流、电压的限制功能。 限制在被测模块上印加的电流值、电压值，以起到保护作用。也可在达到目标值时停止扫描。
CONSTANT功能（选用件CS-800）可印加规定电压或规定电流。
与半导体参数测试软件CS-810配合使用时，可使用半导体曲线图示仪进行自动疲劳试验。
简单易懂的操作键
CURVE TRACER CS Series
独立的
阶梯信号发生器
偏置旋钮
一键画面打印
将波形、设置参数
等简单地保存到
USB存储器
独立的
电流/电压旋钮
安全的遮断器式
集电极电源开关

STOP/SINGLE
简单易用的基本操作采用独立旋钮
独立按键
SWEEP
Duty可调整脉冲信号
易发热模块测试时发挥巨大威力。
按下Stop时立即停止输出。

CS-5000 系列 5kV
集电极电源 HV模式
机型 CS-5000系列共通
模式/极性 全波整流/+－、 DC/+－、 LEAKAGE/+－、 AC
zui大峰值
电压/电流 zui大峰值电压 zui大峰值电流（zui大峰值脉冲电流）
5kV 25mA（25mA）
300V 750mA（1.5A）
30V 7.5A（15A）
zui大峰值功率 5kV时：320mW/3.2W/32W 30V,300V时：120mW/1.2W/120W/390W
水平轴量程 50mV～500V/div
集电极电源 HC模式（CS-5100无HC模式）
机型 CS-5100 CS-5200 CS-5300 CS-5400
HC模式
模式/极性 Pulse／+－
zui大峰值电流
zui大峰值功率
zui大峰值电压
HC
模式
为配载
zui大峰值
电流 / 功率
zui大峰值
电压
zui大峰值
电流 / 功率
zui大峰值
电压
zui大峰值
电流 / 功率
zui大峰值
电压
400A / 4kW 40V 1,000A / 10kW 40V 1,500A / 12kW 30V
40A / 400W 40V 400A / 4kW 40V 600A / 4.5kW 30V
40A / 400W 40V 60A / 450W 30V
脉宽 脉宽在50μs~400μs（10μs分辨率）范围可调整
测试点 可测试点（10μ分辨率）
垂直轴量程 100mA～50A/div 100mA～100A/div 100mA～200A/div
测试台 CS-303 CS-304
CS-5400
CS-5200/5300
CS-5100
于测试耐压3,300V的功率模块的衰减特性
zui大峰值电压5,000V（高压模式）
zui大峰值电流1,500A（CS-5400大电流模式)
全型号标配LEAKAGE模式（游标分辨率1pA）
5kV
CS-5300 1,000A（HC脉冲模式）
CS-5200 400A（HC脉冲模式）
5kV
CS-5400 1,500A（HC脉冲模式）
5kV
CS-5100 （无HC模式）

集电极电源 HV模式
机型 CS-3000系列共通
模式/极性 全波整流/+－、 DC/+－、 LEAKAGE/+－、 AC
zui大峰值
电压/电流 zui大峰值电压 zui大峰值电流（zui大峰值脉冲电流）
3kV 75mA（150mA）
300V 750mA（1.5A）
30V 7.5A（15A）
zui大峰值功率 120mW / 1.2W / 120W / 390W*（*zui大峰值电压3kV时不能使用）
水平轴量程 50mV～500V/div
集电极电源 HC模式（CS-3100无HC模式）
机型 CS-3100 CS-3200 CS-3300
HC模式
模式/极性 Pulse／+－
zui大峰值电流
zui大峰值功率
zui大峰值电压
HC
模式
未配载
zui大峰值
电流 / 功率
zui大峰值电压 zui大峰值
电流 / 功率
zui大峰值电压
400A / 4kW 40V 1,000A / 10kW 40V
40A / 400W 40V 400A / 4kW 40V
40A / 400W 40V
脉宽 脉宽在50μs~400μs（10μs分辨率）范围可调整
测试点 可测试点（10μ分辨率）
垂直轴量程 100mA～50A/div 100mA～100A/div
测试台 CS-301 CS-302
CS-3200/3300
CS-3100
适用于IGBT、MOSFET、三极管、二极管等各种半导体特性测试的标准型号
zui大峰值电压3,000V（高压模式）
zui大峰值电流1,000A（CS-3300大电流模式)
全型号标配LEAKAGE模式（游标分辨率1pA）
UL/CE认证
3kV
CS-3300 1,000A（HC脉冲模式）
CS-3200 400A（HC脉冲模式）
3kV
CS-3100 （无HC模式）
适用于高电压二极管、SCR等的耐压测试
输出部
电压波形 ： 通用电源半波整流波形
zui大电压 ： 10kV峰值（无负载）
zui大电流 ： 100mA峰值 或 400mA
显示部
电压量程 ： 50V/div～1,000V/div（1-2-5步进）
电流量程 ： 0.1mA/div～10mA/div 或 50mA/div
※承接特殊规格定制。
模拟式曲线图示仪 10kV～
CS-3000 系列 3kV

集电极电源 HC模式
机型 CS-10400 CS-10800/12800/15800
模式/极性 Pulse／+－
zui大峰值电流
zui大峰值功率
zui大峰值电压
zui大峰值电流 / 功率 zui大峰值电压 zui大峰值电流 / 功率 zui大峰值电压
4,000A / 60kW 60V 8,000A / 80kW 40V
400A / 6kW 60V 4,000A / 60kW 60V
40A / 600W 60V 400A / 6kW 60V
40A / 600W 60V
脉宽 50μs~900μs , 50μs~1,200μs（8,000A时）（10μs分辨率）
测试点 可测试点（10μ分辨率）
垂直轴量程 100mA～1,000A/div
集电极电源 HV模式
机型 CS-10000系列共通
模式/极性 全波整流/+－、 DC/+－、 LEAKAGE/+－、 AC
zui大峰值
电压/电流 zui大峰值电压 zui大峰值电流（zui大峰值脉冲电流）
3kV 75mA（150mA）
300V 750mA（1.5A）
30V 7.5A（15A）
zui大峰值功率 120mW / 1.2W / 120W / 390W*（*zui大峰值电压3kV时不可用）
集电极电源 UHV模式
机型 CS-10400/CS-10800 CS-12800 CS-15800
模式/极性 DC / +
zui大峰值
电压/电流 zui大峰值
电压
zui大峰值
电流
zui大峰值
电压
zui大峰值
电流
zui大峰值
电压
zui大峰值
电流
10kV 400mA 12kV 266mA 15kV 266mA
zui大峰值功率 40W / 400W / 4kW 32W / 320W / 3.2kW 40W /400W / 4kW
脉冲电源选用件
为防止发热引起模块特性变化及损坏的选用件
上升时间可设为3步、脉宽可在1ms～20ms调整、间歇时间可在
100ms～2s之间调整。
（本选用件是安装在曲线图示仪内部的，必须在出厂时安装完成。
现有用户如需追加本功能则必须将主机送回原厂安装。）
1ms~20ms 100ms～2s
Max Peak Voltage
Tr
Pulse Width Pulse Interval
<1/3/5ms
CS-10000 系列 10kV, 12kV, 15kV
超高电压?大电流 在CS-3100基础上加载UHV与HC
CS-15800 15kV 8,000A
CS-12800 12kV 8,000A
CS-10800 10kV 8,000A
CS-10400 10kV 4,000A
本系列产品为定制品。
报价时请确认具体规格及交期。
可按客户要求定制。

测试夹具选件
SMD用夹具
※测试台CS-301不可用
TSSOP 14用
※测试台CS-301不可用
CS-500 （标准附属品）
测试夹具
供用户自行改造/开发，可直接
接入测试台进行测试的夹具。
测试台M
CS-302
（CS-3200/3300标准配置）
CS-303
（CS-5100/5200/5300标准配置）
测试台S
CS-301
（CS-3100标准配置）
测试台M
CS-304
（CS-5400标准配置）
测试台M用快装面板
（除CS-3100外全机型标准配置）
测试台M
235mm×180mm之内的模块可直接放入测试台测试。
配备有使用TO夹具时的快装面板。
测试台配备有打开盒盖自动停止测试的安全防范功能
（测试夹具为选用件）
标准测试线套装
CS-005
（除CS-3100外全机型标准配置）
香蕉头接线 30cm
(HV用红色2根、绿色2根、黑色2根、黄色1根）
鳄鱼夹（红色2个、绿色2个、黑色2个、黄色1个）
High Current用接线 （2根/套）
CS-006
（CS-5400标准配置）20cm
CS-007
（CS-10400/10800/12800/15800标准配置) 30cm
端子、长度、耐压等可定制。
测试台S
附选件
■对应各种引线脚?封装的测试夹具
标准附属品
夹具底部连接脚
测试时必须使用
测试夹具。
※另有本页内未列出多种夹具，请与销售人员。
LV继电器组件
CS-702
300V/7.5A/30A(Pulse)
10CH
HV继电器组件
CS-703
5kV/0.5A
10CH
HC继电器组件
CS-704
2kV/7.5A/1,500A(Pulse)
10CH
HV/HC 切换开关组件
CS-705
5kV/1,000A(Pulse)
HV/HC 切换功能（可手动）
?CS-3200/3300/5200/5300用
外接输出组件
CS-706
5kV/1,000A(Pulse)
CS-5400使用时需要改装
门极短接组件
CS-707
图示仪部分:
300V/7.5A/15A(Pulse)
模块部分:
5kV/7.5A/15A(Pulse)
10CH
HV/HC 切换开关组件
CS-710
5kV/1,500A(Pulse)
HV/HC 切换功能(可手动)
?CS-5400用
HV-HC继电器组件
CS-708
5kV/7.5A/1,500A(Pulse)
2CH
HV-HC继电器组件
CS-709
5kV/7.5A/1,500A(Pulse)

继电器组件
电源控制组件
外接输出组件
与PC经局域网连接后，通过半导体参数测试软件CS-810控制各部件时必需的组件。
1台zui多可控制8个部件。通过IP地址的设置可同时控制多台（zui多10台）设备。
实现 6in1 (7in1) 或2in1模块的各芯片的自动切换测试或多个模块的自动切换测试。
通过半导体参数测试软件CS-810（安装于外接电脑中）控制各继电器组件，实现自动切换各端子的连接。
CS-810可控制主机、继电器组件、恒温箱或加热板等部件，实现全自动测试 6in1 模块各芯片的温度特性。
继电器组件可并列连接。做多连接10台(100ch)。
扫描系统
CS-701
CS-701背面

测试 6in1 模块时, 可短接未被
测试的芯片的G-E端或C-G端
测试台L CS-307 扫描系统 曲线图示仪 CS-5400
半导体参数测试软件
CS-810
带加热功能的测试台
CTJ1050
制造商：株式会社CATS电子设计
zui大温度：200℃
模块可印加zui大电压：5kV（加热器
表面5kV绝缘处理）
zui大电流：1,000A
自动锁定功能（盒带打开时自动停止
图示仪的信号输出）
加热板 PA3020/PA3040
制造商：株式会社MSA
zui高温度：300℃
可通过外接探头监控实时温度，通过RS485控制
CE认证
（附属品：控制器、温度探头、RS485-USB转换器）
－加热部尺寸－
PA3020：200×200（mm）消耗功率:800W
PA3040：200×400（ｍｍ）消耗功率:1500W
可对应恒温箱
具体参数请与销售人员
确认。
温度特性测试 实现需耗费大量时间的温度特性试验的全自动测试
探针台连接线
测试台L
CS-307
配置自动锁定、可对应扫描系统
外形尺寸500w×520H×520D（mm）
图片为安装CS-5400用连接线的场景
测试台L
CS-305
配置有警告灯、温控开关、冷却风扇、LED照
明外
形尺寸630W×520H×530D（mm）
内部端子
（CS-5400用）

探针台连接线
CS-308
CS-5400用
探针台连接线
CS-306
CS-3xxx/5xxx用（除CS-5400外）
测试台L
与探针台、测试台等连接时控制曲线图示仪的
连接线。（配置有自动锁定端口）
可放入加热板／自动锁定功能（门打开时自动停止测试）对应
内置连接线（CS-306或CS-5400用）
加热板
控制器
温度检测
曲线图示仪 CS系列
半导体参数测试软件
CS-810
CS-810自动控制对应加热板/恒温箱
扫描系统

通过半导体参数测试软件CS-810对曲线图示仪、扫描系统、加热板的自动控制，实现温度特性评价试验的全自动测试。
加热板/恒温箱
半导体参数测试软件CS-810对应设备
半导体参数测试软件 CS-810
安装于电脑中的选用软件。通过局域网控制图示仪、扫描系统、加热板等设备。经简单的设置后就可将一直以来只能手动测试的
曲线图示仪实现全自动测试。大幅提升工作效率。
根据测试值分组进行判定、选别
可将测试值设定为A～J的10个分组。
同时可在各分组上分别设定触发动作（停止
测试、跳过测试、显示警告、波形传输（画
面复制、CSV）等）
可将手动测试时在图示仪上的设置直接读入电脑，组合成测试流程。
即使*不懂编程知识也可立即上手操作。
显示各Suite中Item里zui差的结果
所选择的Suite的详细内容
所选择的Item的设置内容
测试结果窗口
各种形式的
记录数据输出格式
测试模式：Stress
> 大于设定值的测试点
< 小于设定值的测试点
? 接近于设定值的测试点
= 等于设定值的测试点
利用曲线图示仪的
Vth检测功能进行
测试。
长时间印加一定的电压或电流，
并记录电流或电压。 适合于疲劳
试验、信赖性实验。
分组范围设置时可使用便捷
自动计算窗口
自动进行静态特性（漏电流、饱和电压、VF 、Vth等）测试
测试模式：Sweep
将曲线图示仪的设置读入电脑的按键
将电脑中保存的设置送入曲线图示仪的按键
试测信息
有调试功能、可确认测试过程。
测试模式：Vth
测试→记录→判定 全自动化
提高品管及品检的工作效率
模块或数个芯片、器件
自动切换测试
可自动控制加热板，全自动进行
六合一模块的温度特性测试
可非常简单地将手动操作过程组合成自动流程

波形显示
将以前获得的CSV文件或直接从图示仪上读取的波形与
现在从图示仪上读取的波形在同一图系中显示，zui多可
显示10个波形，进行对比。
游标功能
可将显示的波形以数值形式表现出来。
同时，实际测试点以外的点也可用推算值来显示。
注释文显示
可在各波形上添加、编辑、删除注释文。
曲线以图像保存
曲线、文件列表、游标值等任意组合都可以以图像文件保存。
（图像文件格式：PNG/BMP/JPG/TIFF）
波形比较与判断
通过与参考波形对比来判定是否合格。
可将特性曲线以文件形式保存
所测得的特性以CSV文件保存
曲线可以以图像形式保存
(图像格式： PNG/BMP/JPG/TIFF）
游标功能
在X轴、Y轴上显示游标
测试点之间显示计算值。
图像区域的编辑
曲线标题、轴标题、背景色、轴网格等都可
由用户自由编辑。
设定内容的保存/读取
特性测试时的设定内容、图像区域的设置等
都可以文件形式保存并读取出来。
坐标重定义功能
将显示的波形电*以任意间隔保存到CSV文件。将测试
结果以表格形式显示时，可按同一电*来显示。
彩色曲线显示
-- 可设定项目 --
曲线标题、数据区域的背景色、游标色、Line Dot（仅直线、仅点、直线与点）
X轴、Y轴：轴标题、数据选择（Ic/Vce/Vbe）、坐标（Log/Linear）（仅Y轴）、网格间隔（Auto,1-2-5Step）、
网格zui小值、zui大值、网格线（显示色、非显示）
半导体参数测试软件 CS-810
可将产品开发时的不稳定状态或不良分析时测得的多个波形进行同屏比较。或者通过波形比较来判断是否合格。
可使用曲线图示仪进行传到特性的自动测试。
门极电压
集电极/发射极间饱和电压
VCEsat
VGE
波形比较功能
传导特性的自动测试功能
VCE?VGE
IC集电极/发射极间电流
IC?VGE门极电压 VGE
T=a℃
T=c℃
T=b℃
自动进行多个测试项目的测试。
操作人员只需按照人机对话框的提示，及时更换测试器件、插拔接线头，必要时输入
样品名称（具有样品名称自动生成功能），就可以顺利完成同条件下的重复测试。
每次测试完成会显示结果判断，同时将图形、波形数据等自动保存下来。
输入样品名后将样品装入测试台
测试过程中实时显示测试值及结果判断
根据测试结果，暂停并向操作员提示下一步操作
根据测试项目，暂停并向操作员提示下一步操作
测试结束后LOG文件可以以CSV或EXCEL文件格式输出。
测试时波形以图像及数据形式自动保存。
疲劳试验的记录文件已新文件的形式保存。
可以从记录文件画面可以从测试结果中选择并重新测试。
1 23 4 5 将控制扫描系统与曲线图示仪同时控制。
各芯片门极的开关/短接以及HV/HC的切换都可自动控制。
实现无需更换接线将一个模块全自动测试完毕。
在CS-810中只需设置好一个芯片的
测试参数，其余芯片的测试参数都
可复制过去。操作非常简便。

半导体参数测试软件 CS-810
器件的测试
模块的测试

可在短时间内进行多个器件的测试和记录工作。
可将未在测试的芯片门极
与发射极直接短接。
温度
导通电阻
门极阀值
VCEsat
Vth
我们备有带加热功能的测试台，也可选用单独加热板或恒温箱。
各类加温设备的详细情况请与销售人员。
各种参数
测试
印加上一定的电流或电压
按一定的时间间隔自动记录
电压与电流的变化
保持一定的电压或电流（10秒～1,000小时)
Ic以及Vce的测试（间隔时间:10秒～2小时）
可进行长时间的信赖性实验。
图示仪将一直自动检测电流/电压，并及时记录电流与电压的变动。
疲劳性实验的过程中或测试前后可对各种参数进行自动测试。
对电流或电压设定了上下限值后，当超过上下*停止信号输出。
DC定电流疲劳试验
DC低电压疲劳实验
定疲劳性加速
步进式疲劳加速
时间
VCE
半导体参数测试软件 CS-810
评价半导体的温度特性
疲劳试验

可对各种参数进行疲劳性实验
温度自动控制
CS-810可以同时控制加热板。
需要花费大量时间的温度特性测试实现全自动测试。
各种参数
测试
印加上一定的电流或电压
按一定的时间间隔自动记录
电压与电流的变化
各种参数
测试
Vth
VCES
VF
ICE
可按序进行各个器件的测试。
CS-700系列扫描系统有10个通道※。
在非常耗时的温度特性测试等实验时，可全自动测试10个器件。
控制软件CS-810设置时，可设置一个器件后复制。
连接探针台与曲线图示仪的连接线（带自动锁定端子）
探针台侧 图示仪侧
半导体参数测试软件 CS-810
分立器件的测试
CS-700系列可并列运行10个系统。
与晶圆测试的配套
连接后可一次性进行多个器件的测试
与探针台系统结合后可直接进行晶圆测试
半导体参数测试软件可以定制。
（图片为CS-306）
CS-306
探针台连接线
测试仪用推车
MT-600L
主要装置：
拉出式台面
小物件存储（抽屉）
带锁定功能的车轮
仪器固定用绑带
规格：
zui大承重：100kg
高度：约850mm
置物台：590W×775D（mm）
水平固定
重量：约36kg
高度可调的下层置物台
测试仪用推车

波形补偿 硬件 对集电极电源与接地间的浮动电容进行补偿
软件 通过软件的细线化处理功能进行波形补偿
阶梯信号发生器 偏移 设定范围
分辨率
STEP AMPLITUDE设定的-10倍～+10倍
STEP AMPLITUDE设定的1%
电流模式 振幅量程
zui大电流
zui大电压
1步进约50nA～200mA、21段 1-2-5切换
2A
10V以上
电压模式 振幅量程
zui大电流
zui大电压
１步进约50mV～2V、6段 1-2-5切换
±40V
500mA～(～8V)、200mA～(～15V)、10mA～(～40V)
步进周期 50Hz或60Hz的2倍（AC模式下为1倍）、HC模式时为脉冲间隔
脉冲?步进 脉宽 50μs～400μs（10μs步进）
HC模式时为相对于集电极电源脉冲前后100μs的脉宽
步进数 0～20段
AUX出力 量程 OFF、 －40V～+40V（100mV步进可调）
测试模式 REPEAT、STOP/SINGLE、SWEEP
垂直轴（全量程10div） 集电极电流 量程 HV模式：1μA/div～2A/div、20步进 1-2-5切换（HC模式另行规定）
精度 读数的2%+0.05×VERT/div
加上以下zui大峰值电压的波形补偿误差
0.5μA（30V）、1μA（300V）、6μA（3kV）、12μA（5kV）
30V,300V,3kVzui大峰值电压的10%以上、5kV为30%以上
发射极电流（LEAKAGE）
量程 1nA/div～2mA/div、20步进 1-2-5切换
（集电极电源模式为LEAKAGE）
精度 读数的2%+0.05×VERT/div+1nA以下
水平轴（全量程10div） 集电极电压 量程 HC模式：50mV/div～5V/div、7步进 1-2-5切换（HV模式另行规定）
精度 读数的2%+0.05×HORIZ/div以下
栅漏电压 量程 50mV/div～5V/div、7步进 1-2-5切换
精度 读数的2%+0.05×HORIZ/div以下
显示 显示器 8.4英寸 TFT液晶显示器
数据数 1,000点/曲线（AC、全波整流）
20～1,000点/曲线（SWEEP模式）
曲线显示 连线、点线
平均数 OFF、2～255次
长度 OFF、SHORT、LONG、无限长
内部波形保存（REF） ４画面
游标测试 DOT Vert、Horiz、β 或 gm
fLINE Vert、Horiz、1/grad, intercept
FREE Vert、Horiz、β 或 gm
WINDOW WINDOW区域的Vert、Horiz、β 或 gm
数据保存/读取 内部存储 设置参数：256个、REF：4画面
外接存储 USB1.1：设置参数、波形、画面复制（BMP、TIFF、PNG）
远程控制 由LAN连接远程控制 10BASE-T/100BASE-TX 1端口
电源 CS-3xxx,5xxx AC100-240V 50/60Hz 、工作时zui大功率：500VA、待机时：7W Max
CS-1xxxx AC200V单相50/60Hz、工作时zui大功率：10kVA
外形尺寸(mm)
（不含突出部、附属品）
质量（不含附属品）
CS-3100,5100 424W x 220H x 555D、约28kg
CS-3200,3300,5200,5300,5400 424W x 354H x 555D、约43kg
CS-10400,10800,12800,15800 1,110W x 1,216H x 1,150D、约370kg