蔡司MERLIN系列场发射扫描电镜

蔡司MERLIN系列场发射扫描电镜使用未来的实验室分析仪器

 借助 MERLIN 系列场发射扫描电镜，即可在数秒内完成图像采集，观察清晰的原子级分辨率图像及进行完整的三维表面测量与分析。无论是配备性能出色GEMINI I 镜筒的入门型 MERLIN Compact 电镜，或是配备高分辨率 GEMINI II镜筒的型 MERLIN 电镜，MERLIN 系列均是未来稳固投资的*之选：场发射扫描电镜协助您更好地应对未来工作中的各种挑战。15 个探测器端口和多个分析选择，为用户提供灵活性和扩展性。

 MERLIN 系列易于扩展，以适应不断增长的需求
MERLIN 系列场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）可以采集高分辨图像，做成份分析，获取样品全部信息。样品室配有用于安装探测器和多种分析功能选项的 15 个端口，协助您完成从图像采集到完整的材料分析等一系列工作。根据应用需求进行功能扩展：MERLIN 系列具备全面的可升级性。

蔡司MERLIN系列场发射扫描电镜应用无极限
 使用原子力显微镜功能选项，以原子级分辨率获取半导体样品的表面结构信息。通过增加 3View® 超
微切机实现大体积生物样本的三维重构。MERLIN系列的平台设计与智能化探测器技术，随时可借助即插即用扩展功能实现系统升级。开放式的系统软件编程接口，可快速地整合市场上的分析解决方案。

全面便捷的样品分析
 MERLIN 系列的整套探测系统由不同探测器组成：in-lens 二次电子探测器用于高分辨率成像、能量选择背散射探测器（EsB）用于低电压成份衬度成像、in-lens duo 探测器用于二次电子和背散射电
子成像，或角度选择背散射探测器（AsB）用于晶体表面的结构分析。适合对各种材料进行单独的分析，或与探测器信号一起获取更丰富的图像信息。这些只需根据应用选配一个或多个探测器便可实现。

原子力显微镜：获取深度图像
 如若需要进行纳米级表面成像，扫描电子显微镜（SEM）则是您的选择。然而，所收集到的数据往往会缺失一些附加信息：表面三维结构的呈现，或者是在低于纳米级的原子尺度上还需要什么信息？
整合了 AFM 功能的 MERLIN 系列让这类问题迎刃而解。AFM 系统可借助样品台更换功能在几分钟内提供原子级表面形貌的三维图像。由于 AFM 技术是在原子尺度上进行校正的，可为扫描电子显微镜用户提供所需分辨率。
 与独立的 AFM 系统相比，AFM/SEM 的结合使用能提供更丰富的信息：SEM 提供的高分辨率大面积预览，可快速地将悬臂系统直接移至感兴趣的区域。使用方便又高效。通过两种方式的结合使用获得更多的信息，例如通过 AFM 检测电子束对半导体电势的影响。

【技术参数】

分辨率：0.8nm @ 15kV

        1.6nm @ 1kV

放大倍数：范围: 12～2,000,000×
加速电压：调整范围：20 V～30 kV
探针电流：5 pA～20 nA（12pA—100nA可选）
样品室：330(φ) x 270mm（h）
样品台：5轴优中心全自动    X=130 mm
           Y=130 mm    Z=50 mm
           T=-3°- 70°
           R=360 °连续

 系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制功能：扫描电镜可对金属、陶瓷、矿物、岩石、生物等样品以及各种固体材料进行观察和分析研究。对各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。X-射线能量色散谱仪(EDS)，可进行微区的常量元素定性和定量分析。EBSD相关配件可以做t-EBSD 花样质量图、相分布图、取向分布图、制图以统计晶粒大小、高角度分辨率 t-EBSD 分布图检测变形带、同步采集 EDS获得Cu 、Mg等元素分布图、夹杂物等方面的分析。

  目前，扫描电镜及相关附件已完成了电镜、EDS、EBSD等主要设备的安装调试及培训，后续将尽快完成原位拉伸台的安装培训，以及SPT-20离子溅射仪、WT-DJ02电解抛光等制样设备的安装调试等工作。