VeriFire干涉仪 ZYGO新一代激光干涉仪
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 笃挚仪器（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 VeriFire干涉仪
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2020/9/11 11:42:32
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| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子,交通,冶金,航天,汽车 |
ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire™激光干涉仪，继承了工业标准GPI™激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、创造性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO技术的集中体现。 所有VeriFire™系列产品都能提供标准的干涉测量，每种型号均具有特殊的应用。Verif ire"系统真正的斐索型激光光路设计延续了zYG0在面形计量行业*与伦比的经验。共光路的设计结合ZYG0**的采集算法，和功能强大的批软件实现了高精度的表面计量与先进的分析能力。
关键性能：
▪ 斐索型共光路系统保证精密测量
▪ 友好的图形用户界面，易于生产线上操作
▪ 创新箅法使其在振动环境中也能实现准确计量
▪ 利用先进的过程控制技术，快速提取测试中不变的信息
▪ 每一帧数据都将振动信息冻结
所有 Verifire™ 系列产品都能提供标准的干涉测量,每种型号均具有特殊的应用,列于下表:
| 型號: | XPZ | QPZ | ATZ | MST | Asphere |
| 核心技術: | 相位移式干涉儀 (PSI) | 傅立葉轉換相位移 式干涉儀 | **非球面演算 法相位移式干涉仪 | ||
| 光源: | 點光源 | 點光源和 Ring of Fire™環形光源(波紋抑制) | |||
| 變焦: | 自動 1-6X | 數位控制 1-5X | |||
| 聚焦: | 自動 | 數控步進焦距控制 | |||
| 解析度: | 640 × 480 圖元 | 1k × 1k 圖元 | |||
| 幀速: | 75 Hz | 100 Hz | 43 Hz | ||
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集成大量常用测量程序模块▪ 多个样品的同时分析▪ 球面曲率半径的测量 ▪ 角锥和棱镜测量 ▪ 双球面和三平板的测量 ▪ 相对角度和楔板楔角的测量 ▪ 材料均匀性的测量 ▪ 傅立叶变换移相干涉测量(MST型) ▪ 动态设备如MEMS的测量 ▪ 薄膜上下层形貌和厚度的测量 ▪ 金属零件的测量
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简单的定制过程，用户可调▪ 设定数控采集和数据处理过程中的各种参数▪ 选择需要显示的图像曲线和数据结果 ▪ 几百种符合工业标准的数据可供选择 ▪ 自定义屏幕上各种窗口的编排 ▪ 保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果 ▪ 适用于工业化生产的软件 ▪ 质量控制--自动显示”合格/不合格” ▪ 编程功能--仪器自动按用户所编程序模式运行.产生相应的信息 ▪ 根据用户定义的计算公式，产生相应的结果 ▪ 实时屏现SPC ▪ 自动数据保存和统计 ▪ 应用程序”锁定“功能
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强大的数据分析功能▪ 数据滤波和剪辑▪ 像差计算 ▪ PSF和MTF图 ▪ 斜率图/功率谱密度/环绕能 ▪ ASCII和"XYZ"数据格式 ▪ Zernike分析 ▪ 数据和图像加减、缩放、旋转和转换 ▪ ZEMAX、CodeV和0SL0数据格式
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系统
| 测量功能 | 精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前 |
| 测量技术 | QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式（PSI） |
| 校准系统 | 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线) |
| 测量光束直径 | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 对准视场范围FOV | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光学中心线 | 4.25″（108mm） |
| 激光光源 | 大功率稳频氦-氖激光，III* |
| 波长 | 633 nm |
| 频率稳定度 | < 0.0001 nm |
| 相干长度 | ＞100m |
| 成像分辨率 | 1024 x 1024像素 |
| 帧速 | 100Hz（PSI） |
| 数据采集时间 | 130-300ms |
| 数据模式 | 8位 |
| 放大 | 电控1-5X |
| 偏振 | 接近圆偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈调焦范围 | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 计算机和软件 | 高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO**软件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安装构造 | 水平卧式或垂直立式 |
| 附件 | 详细参考ZYGO激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463 |
| 尺寸(长x宽x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 电源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作环境：
| 温度 | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 温度变化率 | ＜1.0°C/15min |
| 湿度 | 相对湿度5% - 95% , 无凝结 |
| 隔振 | QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量；机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。 |
性能参数：
| RMS重复性（3） | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重复性（4） | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5) | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
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