高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

产品型号

  高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

主要特点

  1、炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度<60°。

  2、保温材料采用高纯氧化铝纤维，减少热量损失，且内膛涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率，延长使用　           寿命。

  3、设有三个温区，可独立控温，可设置50段升降温程序，并设有过热和断偶保护。

  4、供气系统与真空机组置于移动架内，方便移动。

  5、真空系统采用一键操作，按下“start” 键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动，待真空度达到10^-2

        mbar后分子泵自动启动）。

  6、根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率。

  7、已通过CE认证。

技术参数

  管式炉

  1、电源：AC 208-240V单相   50/60Hz  7KW

  2、炉管：高纯石英管，外径Φ100mm×内径Φ92mm×1400mm

  3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

  4、加热区：温区I长220mm，温区II长440mm，温度III长220mm，总长880mm

  5、恒温区：500mm（三个温区设为同一温度时）

  6、工作温度：zui高1200℃，连续工作1100℃

  7、zui大升温速率：≤20℃/min

  8、控温精度：±1℃

  9、热电偶：3根K型热电偶

  高真空机组

  1、输入电源：AC110V或AC220V可切换  50/60Hz

  2、消耗功率：110W

  3、壳体尺寸：600mm×600mm×700mm

  4、zui大承重量：270kg

  5、抽气速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

  6、工作范围：1000mbar-<10^-7mbar

  7、极限真空度：10^-5torr

  8、数字式真空显示计：10^-8mbar-10³mbar

  质量流量混气系统

  1、质量流量计：9通道精密质量流量计

  2、流量计范围：10-1000sccm三个，20-200sccm三个，30-10sccm三个

  3、压力表：3个，用来检测混合气体压力

产品规格

  尺寸：炉体550mm×380mm×520mm，高真空机组600mm×600mm×700mm，质量流量混气系统600mm×600

              mm×700mm

  重量：100kg

真空配件

1

  不锈钢真空密封法兰

2个

2

  精密针阀

2个

3

  1/4″软管接头

1个

4

  高温硅胶O型密封圈（zui高可承受300℃）

6个

5

  氧化铝管堵

1套

6

  KF-40真空波纹管

1根

7

  KF-40快速卡箍

3个

8

  KF-25卡箍

2个

可选配件

  防腐型数字真空显示计