ME-210 椭偏仪
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- 公司名称 北京飞凯曼科技有限公司
- 品牌
- 型号 ME-210
- 产地 13718810335 Info@pcm-bj.com QQ1606737747
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2017/7/13 6:33:33
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北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型成像椭偏仪。这种光子晶体探测器型的成像椭偏仪是有日本PHL公司*,并应用到的测试中。日本PHL公司在光子晶体的研究和制造领域世界,由此开发出的光子晶体探测器型具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。
相比传统的光谱型,光子晶体探测器型避免了探测器的机械运动。使得测试速度更快、测试更加准确、成本更加低廉。
ME-210型光子晶体探测器型特点:
- 可用于8英寸样品的3D快速成像
- 可用于厚度差异小于1nm以内的薄膜的快速和高精度成像
- 超高速测量,zui高速度可达20000点/分钟
- 超高分辨率的测量,zui小面积可达50um2
- 可进行透明基底上的薄膜的测试
技术规格:
型号 | ME-210/110 |
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重复性精度 | 0.1nm(厚度), 0.001(折射率) | |
测量速度 | 每分钟1000个点以上 | |
光源 | 636nm 半导体激光器 | |
测量点尺寸 | 0.5mm2 |
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入射角 | 70度 | |
样品尺寸 | 8英寸(可选12英寸) |
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仪器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
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数据接口 | 千兆以太网(摄像机信号),RS-232C | |
电源 | AC100-240V(50/60Hz) | |
软件 | SE-View |
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