光刻机,镀膜机,磁控溅射镀膜仪,电子束蒸发镀膜仪,开尔文探针系统(功函数测量),气溶胶设备,气溶胶粒径谱仪,等离子增强气相沉积系统(PECVD),原子层沉积系统(ALD),快速退火炉,气溶胶发生器,稀释器,滤料测试系统
产地类别 | 进口 |
---|
零件内表面粗糙度、缺陷、形貌测量仪产品特性
√ 任意凹型或凸型物体表面/层的非接触光学检测
√ 可检测金属表面的任意形状和微缺陷,而对非金属表面可进行亚表面层分析
√ 亚微米精度测试结果不受表面质量的影响,表面可为抛光至很粗糙(平均获得)
√ 易附加三维坐标的测量系统
√ *的侵入式探针传感器可以轻松地进入样品内部探测内表面,这是其他轮廓仪所不具备的
零件内表面粗糙度、缺陷、形貌测量仪产品规格
√ zui大获得速率:16kHz
√ 工作距离(fix):0.4--15mm
√ 光斑尺寸(model 80/300):5um
√ zui细探针直径:0.6mm
√ 重复性(在1kHz获取速率下):+/-0.25um
√ 静态精度(在0.1kHz获取速率下):+/-0.05um
√ zui大移动速度:60mm/s
√ 测试波长(model 80/300):830/1300nm