N-6000纳米探针检测系统
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- 公司名称 日立科学仪器有限公司
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- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2017/8/23 11:00:20
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N-6000纳米探针检测系统 特点
- 适用于90-65-45-(32)nm制造工艺。
- 冷场发射电子枪,在较低加速电压条件下具有更好的分辨率。
- 确保图像位移量为±100μm,无需移动样品台也可实现宽范围的检测。
- 具备双马达台机构-探针马达台和样品马达台,操作简单舒适。
- 的探针头交换仓,可顺畅而迅速地交换探针头。使操作舒适而直观。
- 上面和侧面两个CCD摄像头,用于探针对中。
N-6000纳米探针检测系统 技术指标
项目 | 描述 | |
探针单元 | 探针单元数量 | 6(zui多) |
驱动方法 | 压电式 | |
精调范围 | 5μm(X,Y轴) | |
粗调范围 | 5mm(X,Y轴) | |
探针头交换 | 气锁交换室 | |
样品台 | 位置检测 | 光学线性量规 |
样品尺寸 | 15mm x 15mm x 1mm 或更薄 | |
行程范围 | ±7.5 mm(X, Y轴) | |
样品交换 | 气锁样品交换仓 | |
探针镜台 | 行程范围 | 每个位置 ±5 mm |
行程位置 | 检测/样品交换/探针大致对中齐/探针交换 | |
电子光学系统 | 电子枪 | 冷场电子发射源 |
加速电压 | 0.5 kV - 5 kV(EBAC模式(*):zui大30 kV) | |
图像位移 | ±100μm 或更长(2 kV,WD=15 mm) | |
EBAC放大器(*) | 电流放大器,差分放器 | |
图像显示 | 扫描电子显微镜/ EBAC(*)(单一/平行/覆盖),上面和侧面CCD摄像头 | |
真空系统 | 自动系统 | |
显示器 | 液晶显示器 |
外形尺寸和重量
项目 | (W)x(D)x(H) | 重量 |
镜筒单元 | 1,190 x 1,377 x 1,605mm | 780kg |
显示单元 | 1,000 x 960 x 1,200mm | 205kg |
EBAC单元(*) | 600 x 1,000 x 1,760mm | 150kg |
安装条件
项目 | 描述 | |
室温 | 15~25 | |
湿度 | 60% RH(相对湿度)或更低 | |
电源 | 单相 AC100V±10%, 5kVA | |
接地 | D级(100 或更小) |
(*):选购件
可选购附件
- 高分辨率修正
- 样品加热台
- 机械卡盘架
- 单元计数功能
- CAD导航系统(故障分析导航系统)