台式干法刻蚀、高加速离心机采购项目招标公告_1_招标信息

招

台式干法刻蚀、高加速离心机采购项目招标公告

公告日期 2018-03-27
截止日期 2018-04-16
所在地区
北京北京市
所属行业
实验室常用设备/离心机/高速离心机

详细信息

　　中招国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2018-03-26在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

　　1、招标条件

　　项目概况:购买矢量网络分析仪设备。

　　资金到位或资金来源落实情况:专项资金，资金来源已落实。

　　项目已具备招标条件的说明:本项目已具备招标条件。

　　2、招标内容

　　招标项目编号:0618-184TC180814N/02

　　招标项目名称:台式干法刻蚀、矢量网络分析仪、高加速离心机、半导体器件功率循环测试设备采购项目

　　项目实施地点:中国北京市

　　招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	台式干法刻蚀	1台	1. 用于芯片失效分析的制样设备，采用非化学溶液腐蚀的方式完成芯片表面材料刻蚀去除； 2. 可去除材料种类包括：SiO2、SiNX、石英、金属、聚酰亚胺； 3. 反应室为石英材质，可放置8英寸样品，外围多孔金属网阻挡射频辐射； 4. 反应室极限真空：<4Pa； 5. 反应室保压：<100Pa/3hr； 6. 样品台直径至少120mm，基座采用水冷方式； 7. 进口射频电源，频率13.56MHz，频率稳定度和准确度±0.005%，电源功率不小于180W，不大于600W； 8. 具备射频功率表，数字显示输出功率和反射功率； 9. 至少二路机械流量计控制气体注入管道，流量最少可达50ml/min； 10. 进口气体质量流量计，精度优于测量值的±2%； 11. 蓬蓬头式进气，保证进气均匀度； 12. 设备内部真空漏率<1×10-8Pa.m3/sec，出厂时通过He检漏仪检查； 13. 进气管道耐圧保证：1.0MPa（最大流量100ml/min以下），0.7MPa（最大流量5L/min以下），0.5Mpa（最大流量10L/min以下）； 14. 进气管道流量范围不小于：0.5~5ml/min到10~100l/min； 15. 进口排气系统，旋转泵不弱于200l/min； 16. 采用进口皮拉尼真空计，测量范围至少包含1×105～5×10-2Pa； 17. 定时器自动控制刻蚀过程； 18. 液晶热点辅助装置一套，包括进口偏光、100%失效分析用液晶等，可用于寻找漏电位置； 19. 具有金属层干法去除模块； 20. 进口冷水机，温度范围至少在-20℃~30℃，温度调节精度±2℃，10℃下的制冷能力不少于1200W； 21. 提供各种去层配方，包括金，铜等金属； 22. 同型号产品中国大陆销售不少于10台，提供证明材料； *23. 原厂在北京有售后人员，可以第一时间响应维修及应用服务。
2	矢量网络分析仪	1台	1. 频率大于15GHz； 2. 测试端口最大输出电平大于10dBm（@10GHz）； 3. 两端口S参数测量； 4. 时域测量； 5. 相位测量精度优于0.1度； 6. 测试端口本底噪声小于-110dBm（@10GHz）； *7. 动态范围大于120dB（10Hz IFBW, 无平均@10GHz）； 8. 两端口，配置前面板跳线，提供源输出和参考接收机直接接入，扩展系统灵敏度和动态范围； 9. 内置合路器和机械开关； 10. 源和接收机链路配置衰减器，扩展功率测量范围； 11. 内置直流偏置器，最大偏置电压±40V，最大偏置电流200mA； 12. 测试端口输出信号频率稳定度小于±１×10-7/年； 13. 输出电平精度：±1.5dB； 14. 最大激励功率时二阶和三阶谐波失真小于-50dBc； 15. 幅度轨迹噪声（10MHz～26.5 GHz，1kHz IFBW）小于0.008 dB； 16. 接收机中频带宽（IFBW）：1Hz～8MHz； 17. 配置高性能3.5mm稳幅稳相电缆一对； 18. 配置精密机械校准件； 19. 程控功能：配备GPIB接口及LAN接口，可通过GPIB及LAN进行程控。
3	高加速离心机	1台	1.1加速度值（带负载）：最小加速度值≥500g，最大加速度>50000g； 1.2 最大负载安装尺寸（50000g时）：15mm15mm15mm； 1.3 最大负载重量（50000g时）：0.1kg4，共0.4kg（不包含主夹具）； 1.4 转速偏差：≤±2%； 1.5 加速度偏差：≤±2%； 1.6最大负载安装尺寸和最大加速度下负载各点加速度偏差（加速度50000g，负载尺寸15mm15mm15mm时）：≤+15%（不允许负偏差）； 1.7 最大转速：>19000RPM； 1.8显示：液晶显示屏，显示加速度，转速，半径，运行时间及其他系统状态信息； 1.9 显示部分分辨率：转速：1r/min，加速度：1g，时间：1s； *1.10 具备动平衡检测功能，动平衡检测头位于高敏感的转轴顶端，配备完善的保护措施，在工作中出现异常时能自动报警停机，防止出现设备及样品损伤。 1.11采用活动式高级密封盖板，提高密封度，避免使用直接胶皮摩擦密封。 1.12采用固定式非活动部件组装技术，提高设备可靠性和稳定性。
4	半导体器件功率循环测试设备	2台	1.1驱动电压（Vc/Vd）范围：24/48V可选，由于电源为关键部件要求采用进口产品； 1.2 48V下试验功率大于300W； 1.3高功率试验通道≥8条（每条最大功率大于300W），低功率试验通道≥45条（每条最大功率大于7W）； 1.4满足GJB128A（MIL-STD-750E）方法1026、1027、1036、1037、1042（稳态/间歇工作寿命）规定。 1.5试验种类覆盖IGBT/MOSFET（N/P沟道），双极晶体管（PNP/NPN）和二极管； 1.6具备监测器件结温的功能； 1.7加热电流分辨率≤5mA，加热电流准确度优于±1%； 1.8至少一台具备16工位的壳温Tc和ΔTc的检测功能； 1.9具备Tj检测功能，具备功率补偿功能； 1.10当每批次Vf值出现离散现象时设备必须具备补偿Vf离散的功能； 1.11 Switch-on时间≤60ns，Switch-off 时间≤30ns； 1.12冷却方式为风冷，由于鼓风机为关键部件要求采用进口产品； 1.13要求所投标之设备为成熟机型，市场占有率高（大于5家），要求提供销售合同； *1.14元器件种类，试验板类型，数量满足下表要求（单台配置）元器件种类试验板类型及试验样品工位数量备注 IGBT 主试验板：2块，每块至少可放8块子板；试验子板：至少8块，每块至少放4只样品。 N/P沟道 MOSFET 主试验板：1块，每块至少可放7块子板；试验子板：至少7块，每块至少放4只样品。 SiC材料器件（用于增强型/耗尽型） MOS管主试验板：3块，每块至少可放14块子板；试验子板：至少14块，每块至少放4只样品。双极晶体管主试验板：2块，每块至少可放8块子板； PNP/NPN 试验子板：至少8块，每块至少放4只样品。二极管主试验板：1块，每块至少可放4块子板；试验子板：至少4块，每块至少放15只样品。

　　3、投标人资格要求

　　投标人应具备的资格或业绩:1.投标人应具备的资格：

　　1)投标人应是所投产品的制造商或由制造商直接授权的代理商；如是代理商投标，则必须提供所投产品制造商的正式授权书，且同一品牌产品只能授权唯一代理商参加本项目投标；

　　2)投标人提供有效的企业注册证明(境外投标人)；

　　3)投标人提供有效的营业执照副本、组织机构代码证副本、税务登记证(境内投标人)；

　　4)投标人须提供其开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明；国内注册的投标人还应提供中国人民银行出具的开户许可证复印件。

　　2.是否接受联合体投标：不接受联合体投标。

　　3.未在中招国际招标有限公司登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。

　　是否接受联合体投标:不接受

　　未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

　　4、招标文件的获取

　　招标文件领购开始时间:2018-03-26

　　招标文件领购结束时间:2018-04-02

　　是否在线售卖标书:否

　　获取招标文件方式:现场领购

　　招标文件领购地点：中招国际招标有限公司408房间

　　招标文件售价:￥600/$100

　　5、投标文件的递交

　　投标截止时间(开标时间):2018-04-17 13:30

　　投标文件送达地点:中招国际招标有限公司二层第五会议室

　　开标地点:中招国际招标有限公司二层第五会议室

　　6、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。

　　7、联系方式

　　招标人:中国电子技术标准化研究院

　　地址:北京市东城区安定门东大街1号

　　联系人:韩先生

　　联系方式:+86-010-64102597

　　招标代理机构:中招国际招标有限公司

　　地址:北京市海淀区皂君庙14号院9号楼404

　　联系人:秦璐璐、李刚、师杉

　　8、汇款方式:

　　招标代理机构开户银行(人民币):中国工商银行北京海淀支行营业部

　　招标代理机构开户银行(美元):中国银行总行营业部

　　账号(人民币):0200049619200362296

　　账号(美元):778350014863

　　其他:SWIFT CODE：BKCHCNBJ

联系方式

招标单位	中招国际招标有限公司
联系人	秦璐璐、李刚、师杉
联系电话	86-010-62108239、8155、8152
联系传真
联系地址	北京市海淀区皂君庙14号院9号楼404

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