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　　超纯水是既将水中的导电介质几乎*去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.2MΩ*cm极限值（25℃）。

　　超纯水，是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.2MΩ*cm（25℃）。

　　应用范围

　　单/多晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、 液晶显示器、导电玻璃、电池（蓄电池）、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器、洁净产品及各种元器件等生产工艺用高纯水 。

本公司提供DQ(设计确认)、FAT(制造工厂测试)、IQ（安装确认）、OQ（运行确认）、PQ（性能确认）等一系列活动，提供的数据和结论能够证明该设备在生产中可以满足生产工艺要求，设备的性能符合设计要求、产品出厂标准和国家相关行业要求。