l 白光共焦非接触式三维形貌仪
l 彩色共焦传感器（CCS）技术
l 粗糙度，三维形貌和台阶高度测量
l 材料纹理方向分析
l 测量速度快，操作简单
l zui大扫描范围：60 mm×60 mm×2 mm
l Z方向分辨率：12 nm
l XY轴分辨率：1.55 μm
l 样品台尺寸：165 mm×165 mm
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