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无法在离线情况下精确测量超纯水的电阻率/电导率。 电导率的计算公式如下：X 是电导率, F 是法拉第常数, Ci是某种离子浓度， Zi是离子的电荷数，Ui指离子的迁移能力。 X = FΣ CiZiui 理论上，完全不含离子的超纯水在25度时电导率为0.055μS/cm。电阻率是电导率的倒数，为18.2 MΩ.cm。 当超纯水暴露在外界环境中时，会被外界环境污染。实验室里的空气中含有大量的离子，这些离子可以进入超纯水。另外，测量电导率所用到的仪器(烧杯，电阻率仪/探针)也会带入离子污染物。正如电导率的计算公式中所示，任何离子的增加都会影响电导率值，因为电导率与离子的种类和其所带电荷成正比。
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