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预加热滑动双温区PECVD系统

天津中环电炉股份有限公司

价格:¥300000元¥350000元 产品资料:下载

所在地:厂商性质:生产商

品牌:天津中环电炉型号:

公司电话:022-26980130

公司传真:022-26980123

15122725930

王经理(联系我时,请说明是在中国化工仪器网上看到的,谢谢)

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促销时间:2017-07-04 至 2017-08-04

促销说明:

预加热滑动双温区PECVD系统产品应用:

    预加热滑动双温区PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

预加热滑动双温区PECVD系统产品组成:

    此款配置:

      1.1200度开启式双温区真空管式炉

      2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配置管内测温系统。

      3.预加热开启式管式电炉

      4.等离子射频电源 

      5.多路质量流量控制系统

      6.真空系统(可选配中真空或高真空)   

产品特点:

    生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。


预加热滑动双温区PECVD系统产品特点: 生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

预加热滑动双温区PECVD系统产品应用:

    预加热滑动双温区PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成:

    此款配置:

      1.1200度开启式双温区真空管式炉

      2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配置管内测温系统。

      3.预加热开启式管式电炉

      4.等离子射频电源 

      5.多路质量流量控制系统

      6.真空系统(可选配中真空或高真空)   

产品特点:

    生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

 



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